Inhaltsverzeichnis - Edwards EXT406PX Betriebsanleitung

Inhalt
Abschnitt
1 Einführung ......................................................................................... 1
1.1 Umfang und Definitionen ............................................................................................... 1
2 Technische Daten ................................................................................. 3
2.1 Allgemeines ............................................................................................................... 3
2.2 Pumpmedien .............................................................................................................. 5
2.3 Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung ............................................... 7
2.4 Spülgas-Spezifikation und -Daten ..................................................................................... 7
2.5 Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien .................................................................... 7
3 Installation ....................................................................................... 13
3.1 Auspacken und Kontrollieren ......................................................................................... 13
3.2 Typische Installation ...................................................................................................13
3.3 Anschluss an das Vakuumsystem ..................................................................................... 15
3.3.1 Mechanische Befestigung ..............................................................................................15
3.3.2 Ansaugsiebe .............................................................................................................. 15
3.3.3 Anschluss des Einlassflansches und Einbaulage .................................................................... 16
3.3.4 Vorvakuumanschluss ....................................................................................................18
3.3.5 Rootspumpenanschluss (nur Rootspumpenvarianten) .............................................................18
3.4 Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung ................................................. 18
3.5 Spülgasanschluss ........................................................................................................19
3.6 Elektroinstallation ......................................................................................................19
3.6.1 EXDC-Antriebsmodule ..................................................................................................20
3.6.2 TIC-Controller ........................................................................................................... 20
3.7 Kühlung ................................................................................................................... 20
3.7.1 Einführung ............................................................................................................... 20
3.7.2 Druckluftkühlung ........................................................................................................21
3.7.3 Wasserkühlung ..........................................................................................................21
3.8 Magnetfelder ............................................................................................................ 21
4 Betrieb ........................................................................................... 23
4.1 Anlauf ..................................................................................................................... 23
4.2 Abschalten ............................................................................................................... 24
4.3 Sicherheitsverriegelungen und Steuersystem ...................................................................... 24
4.3.1 EXDC-Antriebsmodule ..................................................................................................24
4.3.2 TIC-Controller (falls verwendet) ..................................................................................... 24
4.4 Ausheizen (nur ConFlat
5 Wartung .......................................................................................... 25
5.1 Einführung ............................................................................................................... 25
5.2 Lagerwartung ............................................................................................................ 25
5.3 Lebensdauer des Rotors ................................................................................................25
5.4 Reinigen der Pumpe ....................................................................................................26
5.5 Fehlersuche .............................................................................................................. 26
6 Lagerung und Entsorgung ...................................................................... 29
6.1 Lagerung ................................................................................................................. 29
6.2 Entsorgung ............................................................................................................... 29
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-Variante) .................................................................................. 24
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