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B760-10-882 Issue B
Symptom
Der Systembetriebsdruck kann nicht
erreicht werden.
Die Pumpe ist sehr laut, es treten zu
starke Schwingungen auf oder
beides.
Seite 28
Tabelle 8 - Fehlersuche (Fortsetzung)
Prüfung
Sind einige der Vakuum-Messgeräte
verschmutzt?
Ist das Saugvermögen aufgrund eines
zu geringen Leitwerts zwischen der
Pumpe und dem Messgerät oder
einer zu großen Kammer zu gering?
Ist der Vorvakuumdruck zu hoch?
Ist der Hochvakuumbereich des
Systems verunreinigt?
Ist die Pumpe und/oder der EXDC-
Controller zu heiß?
Prüfen Sie das System auf Lecks und
Verunreinigungen.
Sind der Rootspumpen- und der
Vorvakuumanschluss richtig
angeschlossen?
Stimmt die Drehzahl der Pumpe mit
der Resonanzfrequenz des Systems
überein, mit dem sie verbunden ist?
Wird die Schwingung von der
Vorvakuumpumpe übertragen?
Ist das Geräusch unregelmäßig und
wird immer stärker?
Erzeugt die Pumpe ein konstantes
hohes Geräusch?
Keines der obigen Symptome.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Wenn dies der Fall ist, reinigen oder
ersetzen Sie sie.
Wenn dies der Fall ist, erhöhen Sie
den Leitwert oder verringern Sie das
Volumen.
Überprüfen Sie die
Vorvakuumleitungen auf Lecks. Wenn
der Vorvakuumdruck zu hoch ist,
benötigen Sie eventuell eine größere
Vorvakuumpumpe.
Wenn dies der Fall ist, reinigen Sie
das System.
Wenn dies der Fall ist, hat die Pumpe
und/oder der Controller ihr/sein
thermisches Limit erreicht.
Verstärken Sie die Kühlung von
Pumpe und/oder EXDC.
Reinigen Sie alle verschmutzten
Bereiche und dichten Sie alle Lecks
ab.
Verbinden Sie die Anschlüsse in der
korrekten Weise (an der Innenseite
markiert).
Wenn dies der Fall ist, ändern Sie die
Resonanzfrequenz des Systems.
Wenn dies der Fall ist, montieren Sie
Faltenbälge oder einen
Schwingungsdämpfer in der
Vorvakuumleitung.
In diesem Fall ist das Lager
möglicherweise defekt. Wenden Sie
sich an Edwards oder Ihren
Lieferanten.
Wenn dies der Fall ist, liegt
möglicherweise im Rotor eine
Unwucht vor. Wenden Sie sich an
Edwards oder Ihren Lieferanten.
Wenden Sie sich an Edwards oder
Ihren Lieferanten.
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
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