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2
Technische Daten
2.1
Allgemeines
Allgemeine Merkmale
Leistung
Abmessungen
Maximaltemperatur Hochvakuumflansch
Maximales radiales und axiales Magnetfeld
Installationskategorie
Schadstoffklasse
Umgebungstemperaturbereich (Betrieb)
Umgebungs-Luftfeuchtigkeit (Betrieb)
Maximale Betriebshöhe
Umgebungstemperaturbereich (Lagerung)
Parameter
Gewicht
Haupteinlassöffnung
Rootspumpenanschluss
Abgasanschluss
Belüftungsanschluss
Spülanschluss
Haupteinlass-Saugvermögen
-1
N
, He, H
and Ar (l s
2
2
Spitzensaugvermögen an
Rootspumpenanschluss N
mit XDS10
mit RV12
Spitzenverdichtungsverhältnis vom
Rootspumpenanschluss zum
Haupteinlass: N
, He, H
2
Spitzenverdichtungsverhältnis vom
Vorvakuumanschluss zum
Haupteinlassanschluss: N
und Ar
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle 1 - Allgemeine Daten
Tabelle 2 - Technische Daten
8 kg (DN100/160ISO-K),
13 kg (DN100/160CF)
DN100ISO-K, DN160ISO-K, DN100CF,
DN25KF, wo angebracht
1/8"-BSPP-Rohrgewinde
1/8"-BSPP-Rohrgewinde
CF/ISO100
)
N
2
He
H
2
Ar
2
24 m
26 m
N
2
Ar
und Ar
He
2
H
2
N
2
Ar
, He, H
He
2
2
H
2
Referenzwerte
Siehe
Tabelle 2
Siehe
Tabelle 2
und
70 °C
3,5 mT
EN61010 Teil 1, Kategorie 1
EN61010 Teil 1, Kategorie 2
5 ºC bis 35 ºC
10 bis 90 % relative Luftfeuchtigkeit (nicht
kondensierend)
2000 m
-30 ºC bis 70 ºC
EXT406PX
Anmerkungen
DN160CF
DN25KF
CF/ISO160
Angegebene Saugvermögenswerte
gelten ohne Ansaugsieb.
310
400
Ansaugsiebe können die
360
395
Saugvermögen um bis zu 15 %
310
325
verringern.
280
375
3
-1
-1
h
(6,7 l s
)
3
-1
-1
h
(7,2 l s
)
8
> 1 x 10
8
> 2 x 10
6
2 x 10
4
5 x 10
9
> 1 x 10
10
> 1 x 10
7
1 x 10
5
5 x 10
B760-10-882 Issue B
Abbildung 2
bis 5.
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