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Edwards EXT406PX Betriebsanleitung Seite 10

24 volt turbomolekular-vakuumpumpe
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B760-10-882 Issue B
Parameter
Endvakuum
ISO
CF
Maximaler Druck an
Rootspumpenanschluss N
Maximaler Vorvakuumdruck N
Empfohlene Vorvakuumpumpe
Maximaler kontinuierlicher
Einlassdruck N
2
Einbaulage
Nenndrehzahl
Anlaufzeit bis 90 % Drehzahl mit
EXDC 160
Kühlungsart
Umgebungsluft-Temperatur
(Druckluftkühlung)
Kühlwassertemperatur
Schalldruckpegel (Abstand 1 m)
Empfohlener Controller
Maximaler VA-Ausgang EXDC160
Ruhestrom
Seite 4
Tabelle 2 - Technische Daten (Fortsetzung)
EXT406PX
3 x 10
<7 x 10
4,5 mbar
2
2
XDS10/RV12
0,02 mbar
Siehe
60.000 U/min
Druckluft-/Wasserkühlung
0 - 35 °C
10 - 20 °C
EXDC 160 W 24 V
25 - 40 W
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Anmerkungen
-8
mbar
-10
mbar
48 Stunden nach Abschluss des
Ausheizens
Luftgekühlt bei 25 °C
Umgebungstemperatur mit RV12-
Vorvakuumpumpe und ohne
Durchsatz durch andere
Einlassanschlüsse
17 mbar
Luftgekühlt bei 25 °C
Umgebungstemperatur ohne
Durchsatz durch Einlassanschlüsse
ISO160-Einlass, luftgekühlt bei
25 °C Umgebungstemperatur mit
RV12-Vorvakuumpumpe
Abbildung 8
285 Sek.
Mit null Gaslast und XDS10-
Vorvakuumpumpe
Siehe
< 45 dBA
D396-46-000
250 VA
Leistung bei Endvakuum mit
10
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Abschnitt 3.7
-2
mbar Vorvakuumdruck

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