Inhaltsverzeichnis
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Tabellen
1
Allgemeine Daten ........................................................................................................ 3
2
Technische Daten ........................................................................................................ 3
3
Daten zu Belüftungsgasen und zur Belüftungssteuerung .......................................................... 7
4
Spülgas-Spezifikation .................................................................................................... 7
5
Zum Lieferumfang gehörende Artikel ............................................................................... 13
6
(mit Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils) .......................................................19
7
Zufuhranforderungen für Wasserkühlungsblock .................................................................... 21
8
Fehlersuche .............................................................................................................. 27
9
Ersatzteil-Kits ...........................................................................................................32
10
EXDC-Antriebsmodul ....................................................................................................32
11
TIC-Controller ...........................................................................................................32
12
TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter ..........................................................34
13
VRX-Belüftungsdrossel .................................................................................................34
14
PRX-Spülgas-Drosselventil .............................................................................................34
15
ACX-Luftkühler ..........................................................................................................35
16
WCX-Wasserkühler ......................................................................................................35
17
BX-Heizmanschetten ...................................................................................................35
Weiterführende Publikationen
Titel der Publikation
EXDC-Turbomolekularpumpen-Antriebsmodul
Zubehör für EXT-Pumpen
TIC (100 W und 200 W)
TIC-Serie CD
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
B760-10-882 Issue B
Nummer der Publikation
Seite
D396-45-882
B580-65-880
D397-22-882
D397-00-879
Seite iii
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