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Edwards EXT406PX Betriebsanleitung Seite 4

24 volt turbomolekular-vakuumpumpe
Inhaltsverzeichnis

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B760-10-882 Issue B
7
Service, Ersatzteile und Zubehör ............................................................. 31
7.1
Einführung ............................................................................................................... 31
7.2
Kundendienst ............................................................................................................ 31
7.3
Ersatzteile ............................................................................................................... 31
7.3.1
Ansaugsiebe .............................................................................................................. 31
7.3.2
Ansaugfilter (nur Rootspumpenvarianten) .......................................................................... 31
7.3.3
HV-Flansch-Dichtungen ................................................................................................32
7.4
Zubehör .................................................................................................................. 32
7.4.1
Installation ............................................................................................................... 32
7.4.2
EXDC-Antriebsmodule ..................................................................................................32
7.4.3
TIC-Controller ........................................................................................................... 32
7.4.4
TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter ..........................................................34
7.4.5
VRX-Belüftungsdrossel .................................................................................................34
7.4.6
PRX-Spülgas-Drosselventil .............................................................................................34
7.4.7
ACX-Luftkühler ..........................................................................................................35
7.4.8
WCX-Wasserkühler ......................................................................................................35
7.4.9
Heizmanschette (nur ConFlat
Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen.
Abbildungen
Abbildung
1
Rootspumpenanschlussleistung - Leitungen mit konstantem Druck .............................................. 5
2
3
4
5
6
Schematische Darstellung eines typischen EXT406PX-Systems ..................................................14
7
Korrekte Installation des Ansaugsiebs ............................................................................... 16
8
Korrekte Einbaulage der Pumpe ...................................................................................... 17
9
Installation optionaler Zubehörteile ................................................................................. 33
Seite ii
®
-Version) ............................................................................ 35
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