Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Spülgasanschluss; Elektroinstallation; Bohrungsdurchmesser Der Belüftungsdrossel (Mit Atmosphärendruck Am Einlass Des Belüftungsventils) - Edwards EXT406PX Betriebsanleitung

24 volt turbomolekular-vakuumpumpe
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Die Belüftung kann mit einem der folgenden Mittel und gemäß dem nachfolgend erläuterten Verfahren erfolgen:
Verwenden Sie ein TAV5- oder TAV6-Magnetventil (siehe
Belüftungsventilposition.
Verwenden Sie ein Magnet-Belüftungsventil (TAV5 oder TAV6), das an einen geeigneten Flansch des
Vakuumsystems angeschlossen wird.
Verwenden Sie alternativ ein anderes ans Vakuumsystem angeschlossenes Ventil mit angemessener
Einschränkung. Wenden Sie sich für weitere Einzelheiten an Edwards.
1. Schalten Sie die Pumpe aus, lassen Sie die Vorvakuumpumpe aber eingeschaltet.
2. Öffnen Sie das Belüftungsventil, wenn die Pumpendrehzahl auf 50 % zurückgegangen ist.
3. Wenn die Pumpe zum Stillstand gekommen ist, kann das Belüftungsventil geschlossen werden.
Vakuumsystem
Volumen (l)
3.5
Spülgasanschluss
Wenn Spülgas in die Pumpe geleitet wird, bringen Sie einen Belüftungsanschlussadapter (siehe
des Blindstopfens (siehe
Abbildung 2
die in
Abschnitt 2.4
angegebenen Spezifikationen erfüllen. Verwenden Sie zur Begrenzung des Durchsatzes einen
Durchsatzregler oder einen Druckregler und geeichten Durchsatzbegrenzer. Das als Zubehör lieferbare Spülgas-
Drosselventil PRX10 (siehe
Anleitung zu diesem Zubehörteil beschrieben.
3.6

Elektroinstallation

Für dieses Produkt ist eine separate Stromversorgung erforderlich (nicht im Lieferumfang
enthalten). Die Stromversorgung sollte angemessen gegen gefährliche Betriebsbedingungen
geschützt sein (beispielsweise für den Fall eines Kurzschlusses).
Der Kunde muss dafür sorgen, dass alle elektrischen Schaltkreise gegen tropfendes Wasser durch
Kondensation auf kalten Oberflächen geschützt sind.
Der Kunde ist dafür verantwortlich, sicherzustellen, dass die Stromversorgung über die korrekte
Nennleistung und den korrekten Schutz verfügt.
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle 6 - Bohrungsdurchmesser der Belüftungsdrossel
(mit Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils)
< 20
< 10
< 5
< 2
bis 5) an. Schließen Sie die Gaszufuhr an den Spülanschluss an. Das Spülgas muss
Abschnitt
7) ist für diesen Zweck geeignet. Stellen Sie das PRX10 so ein, wie in der
WARNUNG
WARNUNG
WARNUNG
Abschnitt
7) in der manuellen
Bohrungsdurchmesser (mm)
< 1,0
< 0,7
< 0,5
< 0,35
B760-10-882 Issue B
Abschnitt
7) anstelle
Seite 19

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltsverzeichnis