INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 74

6 | Betrieb LDS3000
Warnung Fehleranzeige
(Wrn) LDS3000
Fehler
(Err)
Err402 Keine Kommunikation mit
TMP
Err403 TMP Drehzahl zu niedrig
Err404 TMP Stromaufnahme zu
hoch
Err405 Kein Hochlauf der TMP
Err410 TMP Temperatur zu hoch
Wrn411 Hohe TMP Temperatur
Err420 TMP Spannung zu hoch
Wrn421 TMP Spannung zu niedrig
Err422 TMP kein Hochlauf
Err423 TMP Druckanstieg
5xx Druck- und Fluss-Fehler
Wrn500 Drucksensor nicht ange-
schlossen
Wrn502 Drucksensor 2 nicht ange-
schlossen
Wrn520 Druck zu hoch
74 / 108
Fehlernummer
LDS1000 Binär-
Protokoll bzw.ASCII
Protokoll
Kompatibili-
tätsmodus
LDS1000/
LDS2010
49 15
53 142
49 2
60 61
49 2
49 2
49 2
49 2
49 2
58 144
73 148
Grenzwerte Ursache
Kabel zur TMP, TMP defekt, IF-
Board oder MSB defekt
< 95% des Druck zu hoch, TMP defekt
Sollwerts
3A
5 Min. Druck zu hoch, TMP fehlerhaft
61°C Kühlung ausgefallen, Einsatzbe-
dingungen MSB-Modul überprüfen
60°C Kühlung ausgefallen, Einsatzbe-
dingungen MSB-Modul überprüfen
Netzteil defekt, TMP defekt
Leitungsquerschnitt 24-V-Ver-
sorung für MSB-Module zu gering,
Ausgangsstrom 24-V-Netzteil zu
gering (I <10 A), Netzteil defekt,
TMP defekt
8 Min. Vordruck TMP zu hoch, Enddruck
VV-Pumpe zu hoch, Undichtigkeit
Hochvakuum-System, Flutventil
nicht geschlossen, Lagerschaden
TMP, TMP fehlerhaft
Lufteinbruch, Flutventil defekt oder
falsch dimensioniert
0,5V Drucksensor PSG500 P1 nicht an-
geschlossen, IF-Board oder MSB
defekt
Drucksensor PSG500 P2 nicht an-
geschlossen, IF-Board oder MSB
defekt.
18 mbar Druck p1 zu hoch
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
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