INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 73

INFICON
Warnung Fehleranzeige
(Wrn) LDS3000
Fehler
(Err)
Wrn342 Kathoden nicht ange-
schlossen
Wrn350 Suppressor nicht ange-
schlossen
Wrn352 Vorverstärker nicht ange-
schlossen
Err358 Vorverstärker pendelt zwi-
schen 2 Bereichen
Err359 Vorverstärker übersteuert
Wrn360 Vorverstärker Output zu
niedrig
Wrn361 Vorverstärker Offset zu
hoch
Wrn362 Vorverstärker Bereichsfeh-
ler
Wrn390 500 G außerhalb des Be-
reichs
4xx TMP-Fehler (auch Temperatur)
Err400 Fehlernummer der TMP
Wrn401 Warnnummer der TMP
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
Fehlernummer
LDS1000 Binär-
Protokoll bzw.ASCII
Protokoll
Kompatibili-
tätsmodus
LDS1000/
LDS2010
47 138
39 130
31 123
31 123
31 123
31 123
31 123
49 15
Grenzwerte Ursache
Beide Kathoden beim Selbsttest
defekt oder Stecker nicht gesteckt
Supressorkabel beim Selbsttest
nicht gesteckt oder defekt
Vorverstärker defekt, Kabel nicht
gesteckt
Signal schwankt zu stark (siehe
Befehl 1120)
Vorverstärker defekt
Signal zu groß, Vorverstärker de-
fekt
<-70 mV Ionenquelle schlecht oder Mas-
bei senspektrometer verunreinigt
500 GΩ
>+/-50 mV Vorverstärker defekt
bei
500 GΩ,
>+/-10 mV
bei 15 GΩ,
<+/-10 mV
bei
470 MΩ,
<+/-9 mV
bei 13 MΩ
Vorverstärker oder MSB-Box de-
fekt
450 GΩ Vorverstärker defekt, Fehler am
Supressor, IF-Board oder MSB
550 GΩ
defekt
Betrieb LDS3000 | 6
73 / 108