INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 17

INFICON
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
Power-LED / Status-LED
Die Power-LED und die Status-LED zeigen den Betriebszustand des Gerätes an.
Power-LED
Aus
Grün
Grün
Grün
Grün
Grün
Grün, blinkt langsam
Grün, blinkt schnell
Grün, blinkt
Grün
SERVICE
RS232-Anschluss für INFICON-Service
I/O / ANYBUS
CONTROL UNIT
Anschluss für I/O-Modul oder Bus-Modul oder Bedieneinheit
Die Anschlüsse „I/O Anybus" und „Control Unit" haben die gleiche Funktionalität. Es
können wahlweise angeschlossen werden:
– Bedieneinheit CU1000 + I/O-Modul IO1000
– Bedieneinheit CU1000 + Bus-Modul BM1000
STATUS
Status-LED
Die Status-LED und die Power-LED zeigen den Betriebszustand des Geräts.
Status-LED Bedeutung
Rot Gerät nicht betriebsbereit
Blau Turbomolekularpumpe läuft hoch
Orange Emission wird eingeschaltet
Grün Emission ist stabil
Lila Drehzahl der Turbomolekularpumpe ist
nicht im Normalbereich
Fehlercodes der Verschiedene Aktivitäten des Geräts
Status-LED
Versorgungsspannung < 21,6 V
Versorgungsspannung > 26,4 V
Aus Software wird aktualisiert
Grün, blinkt Software wird aktualisiert
Beschreibung | 4
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