INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 16

4 | Beschreibung
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SNIFFER
Elektrischer Anschluss für Schnüffelleitung
GAUGES, EXT
Anschluss für optionale externe Druckmessstellen (0 ... 10 V/0 ... 20 mA) für INFI-
CON-Service
Steckerbelegung
1 +24-V-Output, max. 200 mA
2 Input für P3-Service-Druckmessstelle, 0 ... 10 V
3 GND
4 Referenz zum Input für P3-Service-Druckmessstelle
5 20-mA-Input für P3-Service-Druckmessstelle
1 (siehe auch Abbildung MSB-Box)
Anschluss für Drucksensor PSG500, Prüfleck und Suppressor am Vorverstärker (vor-
montiertes, dreifaches Kabel)
24VDC
Anschluss für 24-V-Netzteil zur Versorgung von Massenspektrometer-Modul, Be-
dieneinheit, I/O-Modul und Bus-Modul.
2 (siehe auch Abbildung MSB-Box)
Anschluss für Wandler Turbomolekularpumpe und Lüfter Turbomolekularpumpe (vor-
montiertes, zweifaches Kabel)
ION SOURCE
Anschluss für Ionenquelle
3 (siehe auch Abbildung MSB-Box)
Anschluss für Vorverstärker
INFICON
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)