INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 102

8 | Wartung
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Porexstäbe tauschen
HINWEIS
Sachschäden durch Reinigungsflüssigkeiten
Reinigungsflüssigkeiten können das Gerät beschädigen.
► Keine Reinigungsflüssigkeiten verwenden.
► Sauberes fusselfreies Tuch verwenden.
1
Alte Porexstäbe (8 Stück) mit Pinzette herausziehen.
2 Verunreinigungen an Turbomolekularpumpe und Verschlussdeckel mit saube-
rem fusselfreien Tuch entfernen.
3
Neue Porexstäbe (8 Stück) mit Pinzette einsetzen.
Neuen Betriebsmittelspeicher einsetzen
HINWEIS
Sachschäden durch falsch montierten O-Ring
Ein falsch montierter O-Ring kann Undichtigkeiten verursachen. Das Gerät hat Fehl-
funktionen und wird beschädigt.
► O-Ring sorgfältig einlegen.
Der neue Betriebsmittelspeicher wird durch das Eindrehen des Verschlussdeckels
korrekt positioniert:
1 Neuen Betriebsmittelspeicher nicht in ganzer Höhe, sondern nur bis zum O-Ring
in die Pumpe schieben.
2
Neuen O-Ring für den Verschlussdeckel einlegen.
3 Verschlussdeckel mit Stirnlochschlüssel einschrauben (Anzugsdrehmoment 13
Nm +/-10%).
4
Belüftungsschraube handfest anziehen.
5
Turbomolekularpumpe einbauen.
6
Massenspektrometer-Modul in Betrieb nehmen.
Wartungsarbeit bestätigen
ü Bedieneinheit installiert
ü Berechtigung = Integrator
► Wartungsarbeit in Bedieneinheit bestätigen: „Berechtigung > Integrator > Wartung >
Wartungsarbeit"
INFICON
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)