INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 100

8 | Wartung
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Alten Betriebsmittelspeicher entnehmen
WARNUNG
Vergiftungsgefahr durch gesundheitsschädliche Stoffe
Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Turbomolekularpumpe können mit giftigen
Substanzen aus den gepumpten Medien kontaminiert sein.
► Geeignete Sicherheitsvorkehrungen treffen.
► Kontaminierte Teile vor Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren.
► Alte Betriebmittelspeicher nach geltenden Vorschriften entsorgen.
ü Stirnlochschlüssel, P/N: 551-200
ü Zwei Schraubendreher
ü Pinzette
ü O-Ring
ü Betriebsmittelspeicher, P/N: 200 003 801
ü Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe geflutet.
ü Der neue Betriebsmittelspeicher ist ausreichend mit Betriebsmittel gefüllt.
1
Das Verfallsdatum des neuen Betriebsmittelspeichers prüfen.
2
Kein zusätzliches Betriebsmittel einfüllen.
3
Verschlussdeckel mit Stirnlochschlüssel herausschrauben.
4
Alten O-Ring entnehmen.
5 Betriebsmittelspeicher mit zwei Schraubendrehern herausheben.
INFICON
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)