INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 5

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7.1.1 Elemente der Messanzeige ........................................................................................................ 79
7.2 Einstellungen und Funktionen ................................................................................................................ 82
7.2.1 Touchscreen-Einstellungen ........................................................................................................ 82
7.2.2 Bedienertypen und Berechtigungen............................................................................................ 86
7.2.2.1 Bediener abmelden ............................................................................................................ 88
7.2.3 Funktionen .................................................................................................................................. 88
7.2.3.1 Einstellungen zurücksetzen ............................................................................................... 88
7.2.3.2 Daten aufzeichnen ............................................................................................................. 88
7.2.3.3 Informationen aufrufen ....................................................................................................... 89
7.2.4 Software aktualisieren................................................................................................................. 93
7.2.4.1 Software der Bedieneinheit aktualisieren........................................................................... 93
7.2.4.2 Softwareversion der MSB-Box prüfen und aktualisieren.................................................... 94
7.2.4.3 Software des I/O-Moduls aktualisieren .............................................................................. 94
8 Wartung .......................................................................................................................................................... 96
8.1 Wartung bei INFICON............................................................................................................................. 96
8.2 Allgemeine Wartungshinweise................................................................................................................ 96
8.3 Wartungsplan.......................................................................................................................................... 97
8.4 Wartungsarbeiten ................................................................................................................................... 98
8.4.1 Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe tauschen ............................................................ 98
9 Außerbetriebnahme...................................................................................................................................... 103
9.1 Lecksuchgerät stillsetzen...................................................................................................................... 103
9.2 Massenspektrometer-Modul entsorgen ................................................................................................ 103
9.3 Massenspektrometer-Modul einsenden................................................................................................ 103
10 Anhang ......................................................................................................................................................... 104
10.1 CE-Erklärung ........................................................................................................................................ 104
10.2 Einbauerklärung.................................................................................................................................... 105
10.3 Kontaminationserklärung ...................................................................................................................... 106
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
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