INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 72

6 | Betrieb LDS3000
Warnung Fehleranzeige
(Wrn) LDS3000
Fehler
(Err)
3xx Nachweissystem (Offset Vorverstärker, Vorverstärkertest, Emission, Kathodentest)
Wrn300 Anodenspannung zu nied-
rig
Wrn301 Anodenspannung zu hoch
Wrn302 Suppressorspannung zu
niedrig
Wrn303 Suppressorspanung zu
hoch
Wrn304 Spannung Anode-Kathode
zu niedrig
Wrn305 Spannung Anode-Kathode
zu hoch
Err306 Anodenspannung fehler-
haft
Wrn310 Kathode 1 defekt
Wrn311 Kathode 2 defekt
Err312 Kathoden defekt
Err340 Emissionsfehler
72 / 108
Fehlernummer
LDS1000 Binär-
Protokoll bzw.ASCII
Protokoll
Kompatibili-
tätsmodus
LDS1000/
LDS2010
41 132
40 131
39 130
38 129
36 127
35 126
36 127
45 136
46 137
47 138
44 135
Grenzwerte Ursache
7V < des Kurzschluss Anodenspannung, zu
Sollwerts hoher Druck im Massenspektro-
meter, IF-Board, MSB oder Ionen-
quelle defekt
7V > des MSB defekt
Sollwerts
297V Kurzschluss Supressor, IF-Board
oder MSB defekt
363V MSB defekt
40V Kurzschluss Anode -Kathode, IF-
Board oder MSB defekt
140V MSB defekt
40 V Ab- Die Anodenspannung entspricht
weichung nicht dem Vorgabewert oder der
vom Vor- Vorgabewert liegt außerhalb des
gabewert zulässigen Einstellbereichs.
Kathode defekt, Leitung zur Ka-
thode unterbrochen, IF-Board
oder MSB defekt
Kathode defekt, Leitung zur Ka-
thode unterbrochen, IF-Board
oder MSB defekt
Kathode defekt, Leitung zur Ka-
thode unterbrochen, IF-Board
oder MSB defekt
<90% des Emission war vorher stabil, ver-
Sollwerts mutlich hoher Druck, Meldung
nach 15s
>110% des
Sollwerts
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
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