INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 11

INFICON
Kinetische Energie
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
• Trennen Sie vor Beginn der Leckprüfung elektrisch betriebene Prüfobjekte von der
Stromversorgung.
Das Gerät enthält elektrische Bauteile, die durch hohe elektrische Spannung beschä-
digt werden können.
• Stellen Sie vor dem Anschluss an die Stromversorgung sicher, dass die Versor-
gungsspannung 24 V +/- 10 % beträgt.
Sollten die rotierenden Teile in der Turbomolekularpumpe durch einen Schaden blo-
ckieren, müssen hohe Fliehkräfte aufgefangen werden. Gelingt dies nicht, bricht das
Massenspektrometer-Modul aus und es können Sach- und Personenschäden entste-
hen.
• Sicherstellen, dass die Befestigung des Massenspektrometer-Moduls ein Brems-
moment von 820 Nm aufnehmen kann.
Sicherheit | 2
11 / 108