INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 35

INFICON
Leckrate Prüfleck
– extern Vakuum
Leckrate Prüfleck
– extern Schnüffeln
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
Definieren der Leckrate des Prüflecks, die beim Kalibrieren verwendet werden soll.
Ohne Eingabe des Wertes ist eine Kalibrierung nicht möglich.
Für jedes Gas (Masse) muss eine spezifische Leckrate eingestellt werden.
1E-9 ... 9.9E-2 mbar l/s
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Definieren der Leckrate des Prüflecks, die beim Kalibrieren verwendet werden soll.
Ohne Eingabe des Wertes ist eine Kalibrierung nicht möglich.
Für jedes Gas (Masse) muss eine spezifische Leckrate eingestellt werden.
1E-9 ... 9.9E-2 mbar l/s
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
► LD- und ASCII-Protokoll: Der Verlauf muss abgefragt werden über: Befehl 260 bzw.
*STATus:CAL
1
Externes Prüfleck öffnen bzw. Schnüffelleitung an Prüfleck halten.
2 Messung starten.
3
Warten, bis Leckratensignal eingeschwungen und stabil ist.
4 Kalibrierung starten:
Bedieneinheit: Funktionen > CAL > extern
LD-Protokoll: 4, Parameter 1
ASCII-Protokoll: *CAL:EXT
IO1000: siehe folgende Abbildung.
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum >
Prüfleck ext. > Masse 2 (3, 4) > Prüfleck extern VAC H2 (M3,
He)
oder
Funktionen > CAL > Einstellungen > Prüfleck ext. (für aktuelle
Masse in gewählter Einheit)
Befehl 390
Befehl *CONFig:CALleak:EXTVac (für aktuelle Masse in ge-
wählter Einheit)
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum >
Prüfleck ext. > Masse 2 (3, 4) > Prüfleck extern SNIF H2 (M3,
He)
oder
Funktionen > CAL > Einstellungen > Prüfleck ext. (für aktuelle
Masse in gewählter Einheit)
Befehl 392
Befehl *CONFig:CALleak:EXTSniff (für aktuelle Masse in ge-
wählter Einheit)
Betrieb LDS3000 | 6
35 / 108