INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 4

Inhaltsverzeichnis
6.6.2 Interne Kalibrierung konfigurieren und starten............................................................................ 33
6.6.3 Externe Kalibrierung konfigurieren und starten........................................................................... 34
6.6.4 Externe dynamische Kalibrierung starten ................................................................................... 37
6.6.5 Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL (Zubehör) .......................................... 39
6.6.6 Kalibrierung prüfen...................................................................................................................... 40
6.6.6.1 Kalibrierung mit internem Prüfleck prüfen .......................................................................... 40
6.6.6.2 Kalibrierung mit externem Prüfleck prüfen ......................................................................... 40
6.6.7 Kalibrierfaktor eingeben .............................................................................................................. 41
6.6.7.1 Kalibrierfaktor Schnüffeln ................................................................................................... 41
6.6.7.2 Kalibrierfaktor Vakuum....................................................................................................... 42
6.6.8 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen ................................................................................. 42
6.6.8.1 Maschinen- und Schnüffelfaktor manuell einstellen........................................................... 42
6.6.8.2 Maschinen- und Schnüffelfaktor per Maschinenkalibrierung einstellen ............................. 43
6.7 Messung starten und stoppen ................................................................................................................ 44
6.8 Parameter speichern und laden.............................................................................................................. 45
6.9 Messdaten kopieren, Messdaten löschen .............................................................................................. 45
6.10 Gas-Untergründe mit den "ZERO"-Funktionen unterdrücken................................................................. 45
6.11 Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern ............................................................................................ 47
6.12 Gasballastventil der Vorvakuumpumpe steuern ..................................................................................... 48
6.13 Einheit für die Leckrate wählen............................................................................................................... 48
6.14 Einheit für den Druck wählen.................................................................................................................. 49
6.15 Anzeigegrenzen wählen ......................................................................................................................... 50
6.16 Triggerwerte einstellen ........................................................................................................................... 50
6.17 Kapillarüberwachung einstellen .............................................................................................................. 51
6.18 Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen ...................................................................................... 51
6.19 Kathode auswählen ................................................................................................................................ 52
6.20 Einstellungen für den XL Sniffer Adapter................................................................................................ 52
6.21 Typ des Erweiterungsmoduls auswählen ............................................................................................... 56
6.22 Einstellungen für das I/O-Modul IO1000................................................................................................. 56
6.22.1 Allgemeine Schnittstellen-Einstellungen ..................................................................................... 56
6.22.2 Ein- und Ausgänge belegen........................................................................................................ 57
6.22.2.1 Digitale Eingänge des I/O-Moduls belegen........................................................................ 65
6.22.2.2 Digitale Ausgänge des I/O-Moduls belegen....................................................................... 67
6.23 Einstellungen für das Busmodul BM1000............................................................................................... 69
6.24 Warn- und Fehlermeldungen .................................................................................................................. 69
6.24.1 Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-LEDs ............................................................. 77
6.25 Einstellungen zurücksetzen .................................................................................................................... 78
7 Betrieb CU1000 (optional) .............................................................................................................................. 79
7.1 Elemente des Touchscreens .................................................................................................................. 79
iv
INFICON
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)