INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 38

6 | Betrieb LDS3000
38 / 108
2 Messung starten.
3
Warten bis zum Zeitpunkt, an dem das Leckratensignal optimal zum normalen
Messablauf der Anlage passt.
4
Kalibrierung starten:
Bedieneinheit: Funktionen > CAL > dynamisch
LD-Protokoll: 4, Parameter 2
ASCII-Protokoll: *CAL:DYN
IO1000 siehe folgende Abbildung.
ð Aufforderung „Prüfleck schließen"
5
Vakuumbetrieb: Prüfleck in Prüfanlage schließen.
Schnüffelbetrieb: Schnüffelleitung von Prüfleck entfernen.
ð Leckratensignal fällt ab.
6
Untergrundmesswert bestätigen:
Bedieneinheit: „OK"
LD-Protokoll: 11, Parameter 1
ASCII-Protokoll: *CAL:CLOSED
IO1000 siehe folgende Abbildung.
ð
Die Kalibrierung ist beendet, wenn:
Bedieneinheit: Alter und neuer Kalibrierfaktor werden angezeigt
LD-Protokoll: LD Befehl 260 liefert 0 (READY)
ASCII-Protokoll: Befehl *STATus:CAL? liefert IDLE
IO1000 siehe folgende Abbildung.
INFICON
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)