INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 64

6 | Betrieb LDS3000
LDS2010 Analog Funktion LDS2010
Einstell. Aus-
Menü- gang
punkt 22 Kanal
25 2 Leckrate log. in mbar l/s
0 ... 4 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-8 mbar l/s
26 1 Leckrate lin. in mbar l/s
0 ... 10 V, 1 V = 1E-6 mbar l/s
26 2 Leckrate log. in mbar l/s
0 ... 4 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-9 mbar l/s
27 1 Leckrate lin. in mbar l/s
0 ... 10 V, 1 V = 1E-7 mbar l/s
27 2 Leckrate log. in mbar l/s
0 ... 4 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-10 mbar l/s
28 1 Leckrate lin. in mbar l/s
0 ... 10 V, 1 V = 1E-8 mbar l/s
28 2 Leckrate log. in mbar l/s
0 ... 4 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-11 mbar l/s
29 1 Leckrate lin. in mbar l/s
0 ... 10 V, 1 V = 1E-9 mbar l/s
29 2 Leckrate log. in mbar l/s
0 ... 4 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-11 mbar l/s
30 1 Leckrate lin. in mbar l/s
0 ... 10 V, 1 V = 1E-10 mbar l/s
30 2 Leckrate log. in mbar l/s
0 ... 4 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-11 mbar l/s
Analogen Eingang
auslesen
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– Für den analogen Eingang ist keine Funktion konfigurierbar.
– Er ist reserviert für zukünftige Anwendungen.
– Über den LD-Befehl 220 ist der Spannungswert am analogen Eingang auslesbar.
Funktion Skalierung der
LDS3000 Leckrate
Leckrate 1 V/Dek.
log.
Leckrate li- unrelevant
near
Leckrate 1 V/Dek.
log.
Leckrate li- unrelevant
near
Leckrate 1 V/Dek.
log.
Leckrate li- unrelevant
near
Leckrate 1 V/Dek.
log.
Leckrate li- unrelevant
near
Leckrate 1 V/Dek.
log.
Leckrate li- unrelevant
near
Leckrate 1 V/Dek.
log.
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
INFICON
Obere Grenze
(10 V = ...)
1E2 mbar l/s
1E-5 mbar l/s
1E1 mbar l/s
1E-6 mbar l/s
1E0 mbar l/s
1E-7 mbar l/s
1E-1 mbar l/s
1E-8 mbar l/s
1E-1 mbar l/s
1E-9 mbar l/s
1E-1 mbar l/s