INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 90

7 | Betrieb CU1000 (optional)
Temperatur
Energie und Betriebs-
stunden
Verlauf
Bedieneinheit
Massenspektrometer-
Modul
Schnittstellen
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• Electronic
• TMP
• Energy values: Informationen zu Verbrauchswerten
• Operation hours: Anzeige zu Betriebsstunden
• Supply voltages: Informationen zu den internen Versorgungsspannungen
• Power supply: Informationen zu den Spannungsversorgungen der Bauteile
• Fehler, Fehler-/Warnungsverlauf
• Kalibrierung, Kalibrierverlauf
• TMP Fehler, TMP Verlauf
• Warnungen, aktive Warnungen
• Wartung, Wartungsverlauf
• Version control unit: Informationen zur Softwareversion
• Memory: Informationen zum verfügbaren Speicher
• Settings: Einstellungen der Bedieneinheit.
• Serial Port wired: Informationen zum Kommunikationsanschluss
• Data Exchange: Informationen zum Datenaustausch zwischen Massenspektrome-
ter-Moduls und der Bedieneinheit
• MSB (1): Informationen zur Softwareversion
• MSB (2): Informationen zu Betriebsparametern
• TMP controller (1): Informationen zur Turbomolekular-Pumpe
• TMP controller (2): Informationen zur Turbomolekular-Pumpe, Fortsetzung
• Ion source: Informationen zur eingesetzten Ionen-Quelle
• Preamplifier: Informationen zum Preamplifier
• Preamplifier test: Informationen zum Preamplifier-Test.
• I/O module (1): Informationen zu Softwareversion, Ein- und Ausgängen
• I/O module (2): Visualisierte Informationen zu den digitalen Eingängen
INFICON
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)