INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 61

INFICON
Konfiguration
(LDS2010-kompatibel)
LDS2010 Analog Funktion LDS2010
Einstell. Aus-
Menü- gang
punkt 22 Kanal
1 1 Leckrate Mantisse in gewählter Einheit.
1 ... 10 V
1 2 Leckrate Exponent (Stufenfunktion) in ge-
wählter Einheit
. 1 ... 10 V, 0.5 V/Dekade, 1 V = 1E-12
2 1 Leckrate log. in gewählter Einheit.
1 ... 10 V, 0.5 V/Dekade, 1 V = 1E-12
2 2 Druck p1 log. in gewählter Einheit.
1 ... 10 V, 0.5 V/Dekade, 1 V = 1E-3 mbar
3 1 Leckrate Mantisse in mbar l/s
1 ... 10 V
3 2 Leckrate Exponent (Stufenfunktion) in
mbar l/s
1 ... 10 V, -1 V/Dekade, 0 V = 1E0 mbar l/s
4 1 Leckrate log.
0 ... 10 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-10 mbar l/s
4 2 Druck p1 log. in mbar
1 V/Dekade, 2.5 ... 8.5 V, 2.5 V = 1E-3 mbar,
5.5 V = 1E0 mbar
5 1 Leckrate Mantisse in gewählter Einheit.
1 ... 10 V rise, 0.7 ... 10 V fall
5 2 Leckrate Exponent in gewählter Einheit.
1 ... 10 V, 0.5 V/Dekade, 0 V = 1E-14
6 1 Leckrate log. in Pa·m³/s
0 ... 10 V, 1 V/Dekade,
0 V = 1E-12 Pa·m³/s = 1E-12 mbar l/s
6 2 Druck p1 log. in Pa
1 V/Dekade, 2.5 ... 8.5 V, 2.5 V = 1E-3 mbar
8 1 Leckrate log. in Pa·m³/s
0 ... 10 V, 1 V/Dekade,
0 V = 1E-12 Pa·m3/s = 1E-12 mbar l/s
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
Für die Übertragung der Einstellungen von LDS2010 nach LDS3000 kann die folgen-
de Tabelle genutzt werden.
Funktion Skalierung der
LDS3000 Leckrate
Leckrate unrelevant
Mantisse
Leckrate unrelevant
Exponent
Leckrate 0,5 V/Dek.
log.
Druck p1 unrelevant
Leckrate unrelevant
Mantisse
LR Expo- unrelevant
nent invers
Leckrate 1 V/Dek.
log.
p1 1 V/ unrelevant
Dek.
LR Mantis- unrelevant
se hyst.
Leckrate unrelevant
Exponent
Leckrate 1 V/Dek.
log.
p1 1 V/ unrelevant
Dek.
Leckrate 1 V/Dek.
log.
Betrieb LDS3000 | 6
Obere Grenze
(10 V = ...)
unrelevant
unrelevant
1E6 [gewählte
Einheit]
unrelevant
unrelevant
unrelevant
1,00E+00
unrelevant
unrelevant
unrelevant
1E-2 mbar l/s
unrelevant
1E-2 mbar l/s
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