INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 59

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Leckrate log.
Die obere Grenze (= 10 V) und die Skalierung (V / Dekaden) werden über die Parameter „Exponent oberer
Grenzwert" und „Skalierung bei Leckrate" eingestellt. Beispiel:
Obere Grenze eingestellt auf 1 x 10
-7
liegt bei 1 x 10 mbar l/s (= 0 V). Bei der logarithmischen Ausgangsfunktion werden sowohl die Steigung in V/
Dekade als auch der obere Grenzwert (10-V-Wert) eingestellt. Daraus ergibt sich der kleinste anzeigbare
Wert. Folgende Steigungen sind wählbar: 0.5, 1, 2, 2.5, 3, 5, 10 V/Dekade Je höher der eingestellte Stei-
gungswert, umso kleiner ist der darstellbare Bereich. Die logarithmischen Einstellungen sind am sinnvollsten,
wenn mehrere Dekaden darstellbar sind, also eine Einstellung < 10 V/Dekade. Der obere Grenzwert ist für bei-
de Analogausgänge gleich. In den beiden folgenden Abbildungen sind 1 V/Dekade und 5 V/Dekade mit unter-
schiedlichen Einstellungen des oberen Grenzwerts beispielhaft dargestellt. Je nach gewählter Leckrateneinheit
ergibt sich eine andere absolute Grenze. Der gewählte Bereich kann durch die Grenzen, die für alle Schnitt-
stellen gültig sind, zusätzlich eingeengt werden, siehe oben.
Über Interface
Leckrate Ma. Hys.
Druck p1 (1 V / Dek.)/
Druck p2 (1 V / Dek.)
Leckrate log. H./
Leckrate Exp. Inv.
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
x ... 10 V; logarithmisch;
in gewählter Einheit
-5
mbar l/s (= 10 V). Skalierung eingestellt auf 5 V / Dekade. Untere Grenze
Die Ausgangsspannung kann über den LD-Protokoll-Befehl 221 für
Tests festgelegt werden.
0,7 ... 10 V; linear;
in gewählter Einheit
1 ... 10 V; 1 V / Dekade;
-3
2,5 V = 1 x 10 mbar;
8,5 V = 1000 mbar
Sonderfunktion. Nur auf Emp-
fehlung von INFICON verwen-
den.
Betrieb LDS3000 | 6
Nur sinnvoll, wenn der andere Analog-
Ausgang mit „Leckrate Exponent" be-
legt ist. Durch eine Überlappung der
Mantisse im Bereich 0,7 bis 1,0 wird
ein permanentes Springen zwischen
zwei Dekaden verhindert. 0,7 V ent-
spricht einer Leckrate von 0,7 x 10
9,9 V entspricht einer Leckrate von 9,9
-x
x 10 .
-x
.
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