INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 29

INFICON
Steuermodus
LDS1000-Kompatibilitätsmodus 9.2 sonstige Funktionen
Korrektur der Leckrate in Standby
(Maschinenfaktor)
ZERO bei Start
Öffnen des Schnüffelventils
Drehzahl der Turbomolekularpum-
pe
Adresse RS485
Schnüffeltaster ein/aus
Defaultwert für Int. Prüfleck
Defaultwert Ext. Prüfleck VAC/
SNIF-Mode
Einstellbereich int. Prüfleck
Abgleich Maschinenfaktor
Wertebereich Maschinen-/Schnüf-
felfaktor
Druck: Kapillarüberwachung 20
Analogausgang
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
LDS2010
Wenn „CAL mode" ungleich 3 ist
(Menüpunkt 26), kann das Gasbal-
lastventil über den digitalen Ein-
gang DynCAL gesteuert werden.
F-ON: Fixed on ermöglicht, das
Gasballastventil permanent einzu-
schalten (Netzausfallsicher und un-
abhängig von den digitalen Eingän-
gen).
LOCAL, RS232, RS485
einstellbar (ja/nein)
in SNIF nach Start
nur 2 Drehzahlen
ja, da BUS-fähig
wählbar
1E-15 mbar l/s
1E-7 mbar l/s
10E-7
manuell
Maschinenfaktor: 1E-3...9.9E+3
Schnüffelfaktor: 1E-3...9.9E+3
feste Kennlinien
Betrieb LDS3000 | 6
LDS3000
Entfallen, Steuerung ist von allen
Steuerungsorten gleichzeitig mög-
lich.
Defaultwerte und Fehlermeldungen
(Defaultwerte werden über die
Schnittstelle ausgegeben, auf dem
Touchscreen erscheint die Original-
meldung- -> Grund: neue Hardware
kann Fehler erzeugen, die bei den
Vorgängern nicht existierten)
einstellbar (ja/nein)
ab V1.02 wie LDS2010
in SNIF nach Start
über serielle Schnittstelle von
750 Hz bis 1500 Hz einstellbar,
über Gerätebedienung 1000 Hz und
1500 Hz
nein, da nicht Bus-fähig
wählbar
9.9E2 mbar l/s
9.9E2 mbar l/s
1E-9 ... 9.9E-1 mbar l/s
manuell/automatisch
Maschinenfaktor: 1E-4...1E+5
Schnüffelfaktor: 1E-4...1E+4
vorhanden, Druck einstellbar
frei konfigurierbar
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