INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 75

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Wrn521 Druckanstieg, Zusammen-
bruch Anodenspannung
Wrn522 Druckanstieg, Emission zu-
sammengebrochen
Wrn540 Druck zu niedrig, Sniffer
blockiert
Err541 Sniffer blockiert (p1)
Wrn542 Sniffer gebrochen
Wrn550 Druck zu niedrig, XL Snif-
fer blockiert
Wrn552 XL Sniffer gebrochen
Wrn554 XL sniffer P2 zu klein
6xx Kalibrierfehler
Wrn600 Kalibrierfaktor zu niedrig
Wrn601 Kalibrierfaktor zu hoch
Wrn602 KalFaktor niedriger als bei
letzter Kalibrierung
Wrn603 KalFaktor größer als bei
letzter Kalibrierung
Wrn604 Int. Kalibr. nicht möglich,
fehlende Kontrolle Prüfleck
Wrn605 Differenz beim Kalibrieren
zu klein
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
73 148
73 148
63 62
62 146
64 147
63 62
81 153
81 153
81 153
81 153
81 153
< Sollwert - Druck p1 zu hoch, Meldung nach
20V 1,4s
< 90% des Emission war vorher stabil, Druck
Sollwerts p1 zu hoch, Meldung nach 5s
> 110%
des Soll-
werts
Parameter Schnüffler verstopft, Schnüffelven-
Sniffer til defekt, Filter verstopft
Fluss-War-
nung
Schnüffler verstopft, Schnüffelven-
til defekt (Druck kleiner als halber
eingestellter Warnwert), Filter ver-
stopft
Schnüffler gebrochen
High Flow-Kapillare der Schnüffel-
leitung reinigen oder austauschen.
Verschmutzen Filter tauschen.
High Flow-Kapillare der Schnüffel-
leitung austauschen.
Druck an SL3000XL im Low Flow
zu niedrig.
0,01 Kalibrierleck oder Maschinenfaktor
falsch eingestellt
10000 Kalibrierleck oder Maschinenfaktor
falsch eingestellt, Teilstromfaktor
zu groß
< 50% des Kalibrierleck, Maschinenfaktor
alten Werts oder Teilstromfaktor hat sich ge-
ändert
> 200% Kalibrierleck, Maschinenfaktor
des alten oder Teilstromfaktor hat sich ge-
Werts ändert
Prüfleck ist nicht enabled
Prüfleck defekt oder Signal zu
klein.
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