Agilent Technologies Agilent 7000 Serie Benutzerhandbuch Seite 124

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Betrieb im CI-Modus
Wenn ein CI-System parallel zu einem JetClean-System installiert wird,
greifen beide Systeme auf den MFC zu. Die Einheit ist so ausgelegt, dass nur
jeweils ein System zu einem Zeitpunkt darauf zugreifen kann. In diesem Fall
ist die Zufuhr von Gas B für Wasserstoff zur Ionenquellenreinigung bestimmt.
Ausführliche Informationen zum JetClean-System finden Sie im JetClean
Benutzerhandbuch, das zusammen mit dem vorliegenden Handbuch auf
Ihrem PC installiert ist.
Tabelle 11 MFC-Status des CI-Systems
Ergebnis Gas A Fluss
Gas A Offen
Gas B Geschlossen

MFC An Sollwert
Absperrventil Offen
Die Zustände Offen und Geschlossen werden in der Überwachung als Geöffnet
und Geschlossen angezeigt.
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Spülen
Gas B Fluss mit Gas A
Geschlossen Offen
Offen Geschlossen
 
An Sollwert An 100 %
Offen Offen
Spülen Flussmodul
mit Gas B auspumpen
Geschlossen Geschlossen
Offen Geschlossen

An 100 % An
Offen Offen
Benutzerhandbuch TQ GC/MS der Serie 7000/7010
Standby,
belüftet oder
EI-Modus
Geschlossen
Geschlossen
 
100 % Aus 0 %
Geschlossen