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INFICON XL3000flex Originalbetriebsanleitung
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Schnüffel-leckprüfgerät
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Original-Betriebsanleitung
XL3000flex, XL3000flexRC
Schnüffel-Leckprüfgerät
Katalognummern
520-200, 520-201
Ab Software-Version
V3.16 (Gerätebedienung)
jina83de1-11-(2504)

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Verwandte Anleitungen für INFICON XL3000flex

Inhaltszusammenfassung für INFICON XL3000flex

  • Seite 1 Original-Betriebsanleitung XL3000flex, XL3000flexRC Schnüffel-Leckprüfgerät Katalognummern 520-200, 520-201 jina83de1-11-(2504) Ab Software-Version V3.16 (Gerätebedienung)
  • Seite 2 INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Köln, Deutschland...
  • Seite 3 5.5 Nur XL3000flexRC: Datenkabel und CU1000 montieren...............  33 6 Betrieb ................................ 34 6.1 Gerät einschalten ...........................  34 6.2 Grundlegende Einstellungen........................ 34 6.2.1 Sprache einstellen ........................ 34 6.2.2 Datum und Uhrzeit einstellen......................  35 6.2.3 Einheit für die Leckrate wählen.................... 35 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 4 Äquivalenzfaktor und molare Masse einstellen .............. 58 6.3.3 Schwellenwerte einstellen...................... 59 6.3.4 Gerät kalibrieren .........................  60 6.3.4.1 Zeitpunkt und generelle Voreinstellungen .................  60 6.3.4.2 Externe Kalibrierung konfigurieren und starten .............. 61 6.3.4.3 Kalibrierung prüfen ...................... 63 6.3.4.4 Kalibrierung mit externem Prüfleck prüfen.................  63 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 5 7.1 Warnungen als Fehler anzeigen ...................... 87 8 Reinigung und Wartung.......................... 89 8.1 Gehäuse reinigen...........................  89 8.2 Wartung des XL3000flex........................ 89 8.2.1 Filtermatte des Lüftereingangs wechseln ...................  89 8.2.2 Sicherungen wechseln........................  90 8.2.3 Wechsel der Filtercartridge an der Schnüffelspitze .............. 90 8.2.4 Wartung durch den Hersteller .....................
  • Seite 6 Diese Betriebsanleitung richtet sich an den Betreiber und an technisch qualifiziertes Fachpersonal mit Erfahrung im Bereich der Dichtheitsprüftechnik und Integration von Dichtheitsprüfgeräten in Dichtheitsprüfanlagen. Der Einbau und die Anwendung des Geräts erfordern außerdem Kenntnisse im Umgang mit elektronischen Schnittstellen. 6 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 7 INFICON Sicherheit | 2 2 Sicherheit 2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung Der XL3000flex ist ein Helium- oder Wasserstoff-Leckdetektor für die Schnüffellecksuche. Mit dem Gerät lokalisieren und quantifizieren Sie Leckagen an Prüfobjekten. Ein Prüfobjekt enthält immer Gas unter Überdruck. Die Außenseiten der Prüfobjekte suchen Sie mit einer Schnüffelleitung nach ausströmendem Gas ab...
  • Seite 8 2 | Sicherheit INFICON • Anheben des Geräts mittels der Haltegriffe, wenn die Gerätefüße nach oben zeigen. Die Hände können sonst eingeklemmt werden. • Einführen der Schnüffelspitze in Körperöffnungen 8 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 9 Das Gerät ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut. Dennoch sind bei unsachgemäßer Verwendung Gefahren für Leib und Leben des Nutzers oder Dritter bzw. Schäden am Gerät und weitere Sachschäden möglich. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 9 / 108...
  • Seite 10 Das Gerät enthält elektrische Bauteile, die durch hohe elektrische Spannung beschädigt werden können. • Stellen Sie vor dem Anschluss an die Stromversorgung sicher, dass die Netzspannung vor Ort innerhalb des erlaubten Betriebsspannungsbereichs liegt. Der erlaubte Betriebsspannungsbereich ist auf dem Gerät angegeben. 10 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 11 [} 103]". ► Prüfen Sie den Lieferumfang nach Erhalt des Produkts auf Vollständigkeit. Notwendiges Zubehör für den Betrieb Zum Betrieb des XL3000flex benötigen Sie eine Schnüffelleitung SL3000XL. Sie ist in verschiedenen Längen erhältlich: - SL3000XL, Länge 3 m, Bestellnummer 521-011 - SL3000XL, Länge 5 m, Bestellnummer 521-012 - SL3000XL, Länge 10 m, Bestellnummer 521-013...
  • Seite 12 INFICON 4 Beschreibung 4.1 Funktion Der XL3000flex ist ein Nachweisgerät für die Prüfgase Helium und Wasserstoff. Das Gerät ist für die Lecksuche mit der Schnüffelleitung SL3000XL ausgelegt, die in unterschiedlichen Längen zur Verfügung steht. Mit dieser Schnüffelleitung können Sie Leckstellen bei verschlechterter Nachweisgrenze in einem größeren Abstand (High Flow) von der vermutlichen Leckstelle erfassen und zur genaueren Lokalisierung auf Low Flow umschalten.
  • Seite 13 INFICON Beschreibung | 4 4.2 Betriebsart Schnüffeln Der XL3000flex ist ausschließlich für die Betriebsart "Schnüffeln" entwickelt worden. Zum Betrieb benötigen Sie eine Schnüffelleitung SL3000XL. Sie ist in verschiedenen Längen erhältlich, siehe "Lieferumfang und Zubehör". Die Schnüffelleitung SL3000XL wird an dem vorgesehenen Anschluss auf der Vorderseite des Geräts angeschlossen, siehe "Geräteaufbau [} 14].
  • Seite 14 4 | Beschreibung INFICON 4.3 Geräteaufbau XL3000flex: Ansicht von vorne Anschluss für Schnüffelleitung Status-LED der Gerätebedienung. SL3000XL Leuchtet: Bedieneinheit arbeitet normal. Blinkt: Anzeige im Stromsparmodus Touchscreen Anschluss für USB-Stick Bereich zur Befestigung einer Reset-Taste, auslösbar durch Halterung für die Schnüffelleitung...
  • Seite 15 LED durchgehend, wird die Schnüffelleitung mit Spannung versorgt. Schnittstelle für ein Datenkabel zur Verbindung mit einer externen Bedieneinheit CU1000. Siehe auch “Nur XL3000flexRC: Datenkabel und CU1000 montieren [} 33]“. Bereich zur Befestigung einer Halterung für die Schnüffelleitung XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 15 / 108...
  • Seite 16 Moduls IO1000 oder des Bus- Moduls, optional) Netzschalter zum Ein- und Anschluss “TL“ für Ausschalten des Geräts Verbindungskabel zum Kalibrier- Adapter für Prüflecks Elektrische Sicherung Anschluss “LD“ für das Datenkabel des I/O Moduls oder des Bus- Moduls 16 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 17 INFICON Beschreibung | 4 Ansicht von unten Filter Lüfterausgänge Gummifüße (4 Stück) Seitliche Transportgriffe Transportgriffe Das Gerät darf nicht geöffnet werden! XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 17 / 108...
  • Seite 18 Status- LED durchgehend, wird die Schnüffelleitung mit Spannung versorgt. Notwendiges Zubehör für den Betrieb Zum Betrieb des XL3000flex benötigen Sie die Schnüffelleitung SL3000XL. Sie ist in verschiedenen Längen erhältlich (siehe Lieferumfang und Zubehör). Sehen Sie dazu auch 2 Schnüffelleitung anschließen [} 30]...
  • Seite 19 Maßeinheit ist die gleiche, wie in der Hauptanzeige. Das Display zeigt außerdem die Gasart und die Prüfgaskonzentration an. Wird der XL3000flex in der Betriebsart High Flow betrieben, ist die Anzeige der Gasart dunkel hinterlegt. Warn- oder Fehlermeldungen werden auf dem Display angezeigt. Die Meldung wird mit der rechten Taste bestätigt.
  • Seite 20 Die Bedieneinheit wird durch längeres Drücken vom Symbol für die Tastatursperre gesperrt oder freigeschaltet. 2 - Symbol für den Kommunikationsstatus • Symbol verbunden: Das Gerät kommuniziert mit dem Massenspektrometer-Modul. • Symbol getrennt: Das Gerät kommuniziert nicht mit dem Massenspektrometer- Modul. 20 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 21 7 - Betriebsart Eingestellte Betriebsart Anzeige Betriebsart LOW FLOW XL Sniffer Adapter im LOW FLOW HIGH FLOW XL Sniffer Adapter im HIGH FLOW 8 - Leckrate Aktueller Messwert der Leckrate. 9 - Graf Grafische Darstellung der Leckrate Q(t). XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 21 / 108...
  • Seite 22 Alle Funktionen und Parameter der Bedieneinheit sind über die Taste “Menü“ zu erreichen. Eine vollständige Darstellung des Menüs ist auf dem mitgelieferten USB-Stick enthalten. 14 - Wertachse Wertachse der Leckrate Q(t). 15 - Maßeinheit Maßeinheit der Wertachse. 22 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 23 37,5 kg XL3000flexRC Abmessungen (L x B x H) 544 x 404 x 358 mm Gewicht 36,5 kg Elektrische Daten XL3000flex, XL3000flexRC Leistung 280 VA Betriebsspannung 100 - 240 V ±10%, 50 / 60 Hz Hauptsicherung 2x T6,3 A 250 V...
  • Seite 24 4 | Beschreibung INFICON XL3000flex, XL3000flexRC Schutzart EN 60529 IP30 UL 50E Type 1 Überspannungskategorie Physikalische Daten XL3000flex, XL3000flexRC Hochlaufzeit 150 s Messbare Gase Helium, Wasserstoff Messbare Massen He, H , Masse 3 (z. B. H-D, He oder H Ionenquelle...
  • Seite 25 INFICON Beschreibung | 4 XL3000flex, XL3000flexRC Max. Höhe über Meeresspiegel 2000 m Max. relative Luftfeuchte ≤ 31°C Max. relative Luftfeuchte > 31°C Lagertemperatur -20 °C ... 60 °C Verschmutzungsgrad 4.8 Werkseinstellungen Die folgende Tabelle zeigt die Werkseinstellungen in der Betriebsart "Schnüffeln".
  • Seite 26 Leckrate untere Grenze VAC (Schnitt-stelle) 1.0 x 10 Leckrate obere Grenze SNIF (Schnitt-stelle) 1.0 x 10 Leckrate untere Grenze SNIF (Schnitt-stelle) 1.0 x 10 Lüftersteuerung Lüfter immer an Maschinenfaktor in Standby Maschinenfaktor / Schnüffelfaktor 1.0 (für alle Massen) Masse 26 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 27 Schnüffler Taste ZERO Sprache Englisch Summer stummschalten TMP-Drehzahl 1000 Triggerlevel 1 (2, 3, 4) 2 x 10 mbar l/s (1 x 10 ) mbar l/s Vorverstärkertest bei CAL Wartungsmeldung TMP und Membran-Pumpe ZERO bei Start ZERO-Modus Alles unterdrücken XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 27 / 108...
  • Seite 28 ► Zum Anheben nutzen Sie die Handgriffe auf den Seiten des Geräts. ► Um Quetschungen der Hände zu vermeiden, dürfen die Gerätefüße beim Heben und Transportieren nicht nach oben zeigen. ► Das Gerät darf nicht an nur einem Handgriff gehoben und transportiert werden. 28 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 29 ► Vermeiden Sie ruckartige Bewegungen oder Erschütterungen des Geräts während des Betriebs und bis 2 Minuten nach dem Ausschalten. • Stellen Sie das Gerät auf einem ebenen, rutschfesten Arbeitsplatz auf. • Vermeiden Sie bereits beim Aufstellen des Geräts und dem Anschließen von Leitungen Stolpergefahren. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 29 / 108...
  • Seite 30 Der Stecker darf sich nicht mehr leicht bewegen lassen. 5.3 I/O-Modul - oder Bus-Modul montieren (optional) Beide Module sind Schnittstellen zur Steuerung des Dichtheitsprüfgeräts XL3000flex. ü Sie verfügen über ein separat erhältliches I/O-Modul oder Bus-Modul. Siehe auch “Zubehör [} 103]“.
  • Seite 31 Haken Sie dazu das Modul anschließend unten in die Hutschiene, drücken Sie es oben an die Hutschiene und lassen es einrasten. Schließen Sie das I/O-Modul beziehungsweise das Bus-Modul über ein INFICON Datenkabel an der LD-Buchse auf der Rückseite des XL3000flex an. Leitungslänge < 30 m. Sehen Sie dazu auch 2 Typ des Erweiterungsmoduls auswählen [} 45]...
  • Seite 32 Drücken Sie die Halterung gegen die Frontplatte des Geräts. ð Der Halter wird durch einen Magnet an seiner Rückseite an die Frontplatte des Gerätes gezogen. Fixieren Sie die Schnüffelleitung bei Nichtgebrauch in der Halterung so, dass Sie vom Bediener weg zeigt. 32 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 33 INFICON Installation | 5 5.5 Nur XL3000flexRC: Datenkabel und CU1000 montieren ► Verbinden Sie Dichtheitsprüfgerät und separate CU1000 über ein INFICON Datenkabel. Leitungslänge < 30 m. Nutzen Sie dazu die Schnittstelle auf der Vorderseite des Geräts. Benötigtes Zubehör Der XL3000flexRC wird im Standard-Lieferumfang ohne Datenkabel und Bedieneinheit CU1000 ausgeliefert.
  • Seite 34 6 | Betrieb INFICON 6 Betrieb 6.1 Gerät einschalten ► Schalten Sie den XL3000flex über den Netzschalter auf der Rückseite des Geräts ein, siehe auch “Geräteaufbau [} 14]“. ð Das System läuft automatisch hoch. ð Nach dem Einschalten leuchtet die grüne LED auf der Frontabdeckung des XL3000flex.
  • Seite 35 Hauptmenü > Anzeige > Einheiten (Anzeige) > Leckrateneinheit SNIF LD-Protokoll Befehl 396 (Index 1: Schnüffeln) ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:UNIT:SNDisplay Leckrateneinheit Wählen der Leckrateneinheit der Schnittstellen für Schnüffeln Schnittstelle mbar l/s (Werkseinstellung) Pa m atm cc/s Torr l/s XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 35 / 108...
  • Seite 36 Befehl 430 (Schnüffeln) ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:UNIT:Pressure 6.2.6 Einstellungen für den XL Sniffer Adapter Für den Betrieb mit dem XL Sniffer Adapter müssen Sie – die SL3000XL-Schnüffelleitung verwenden, – die Betriebsart "XL Sniffer Adapter" wählen, siehe "Betriebsart "Schnüffelbetrieb" [} 54]. 36 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 37 Schnüffler > Led > Schnüffler Led Helligkeit LD-Protokoll Befehl 414 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:BRIGHTness Schnüffler-LEDs: Verhalten der LEDs am Schnüffler, wenn Triggerwert 1 überschritten wird. Alarmkonfiguration keine Reaktion Blinken Die LEDs blinken Heller Die LEDs leuchten mit maximaler Helligkeit. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 37 / 108...
  • Seite 38 Um ein Verstopfen der XL-Kapillare (High Flow, 3000 sccm) zu detektieren, wird ein Kapillare verstopft minimaler Druckwert eingestellt. Wird der Wert unterschritten, gibt das System die (High Flow) Warnmeldung 550 aus. Bei starker Unterschreitung wird die Fehlermeldung 551 ausgegeben. 100 ... 300 mbar 38 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 39 Supervisor Integrator Viewer Operator Supervisor Viewer Operator Viewer Für die Typen “Integrator“, “Supervisor und “Operator“ muss bei der Anmeldung eine vierstellige PIN vergeben werden (0000 ... 9999). Ab Werk ist die “0000“ an alle Bediener vergeben. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 39 / 108...
  • Seite 40 Darstellung der Fehlerinformation ändern Werkseinstellungen aufrufen Wartungsverlauf eintragen Das Menü “Service“ ist nur für den INFICON-Service zugänglich. Fehlerinformationen Die Art der Fehlerinformationen kann für jeden Bedienertyp unterschiedlich anzeigen eingestellt werden. Der Integrator erhält immer die vollständigen Informationen. Nummer: Meldungsnummer Text: Kurzbeschreibung Info: Erweiterte Meldungsinformation •...
  • Seite 41 WARNUNG Schädigung des Gehörs durch laute Töne Der Alarmpegel des Geräts kann 85dB(A) überschreiten. ► Stellen Sie eine Lautstärke bis maximal “12“ ein (XL3000flex). ► Verwenden Sie bei eingestellten Lautstärken über “12“ einen geeigneten Gehörschutz. ► Beim XL3000flexRC hängt die tatsächliche Lautstärke davon ab, was Sie am Kopfhöreranschluss der CU1000 anschließen.
  • Seite 42 Hauptmenü > Anzeige > Q(t)-Achse > Dekaden Automatische Skalierung Bedieneinheit Hauptmenü > Anzeige > Q(t)-Achse > Automatische Skalierung Skalierung der Skalierung der Zeitachse Zeitachse 15 s 240 s 30 s 480 s 60 s 960 s 120 s 42 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 43 6.2.13 Kalibrieraufforderung anzeigen Die Kalibrieraufforderung kann zugelassen oder unterdrückt werden. AUS (unterdrückt) AN (zugelassen) Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Bedieneinheit > Meldungen > Kalibrieraufforderung anzeigen 6.2.14 Warnungen anzeigen Warnungen und Fehlermeldungen können auf dem Touchscreen angezeigt werden. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 43 / 108...
  • Seite 44 Hauptmenü > Einstellungen > Trigger > Triggerausw. 6.2.18 Favoritentasten belegen Die Favoritentasten bieten einen direkten Zugriff auf einzelne Funktionen. Sie können vom Benutzer mit der Berechtigung „Supervisor“ oder höher belegt werden. Favorit 1: Mittlere Taste Favorit 2: Rechte Taste 44 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 45 Betrieb | 6 Favorit 3: Taste rechts unten im Hauptmenü Lautstärke Flussumschaltung Anzeigeeinstellungen CAL überprüfen Start/Stop AQ Assistent (Nicht anwendbar für XL3000flex!) Messwertanzeige Gasäquivalent ZERO - - - (= ohne Funktion) Bedieneinheit Hauptmenü > Einstellungen > Favoriten > Favorit 1 (2, 3) 6.2.19 Typ des Erweiterungsmoduls auswählen...
  • Seite 46 Nur sinnvoll, wenn der andere Analog-Ausgang mit „Leckrate Treppenfunktion; Mantisse“ oder „Leckrate Ma. Hys.“ 1 V = 1 x 10 ; in gewählter Einheit belegt ist. Leckrate linear x ... 10 V; linear; in gewählter Einheit 46 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 47 Diese Einstellung gilt für beide Analogausgänge, falls eine betreffende Ausgangsfunktion gewählt wurde. Je nach gewählter Leckrateneinheit ergibt sich eine andere absolute Grenze. Der gewählte Bereich kann durch die Grenzen, die für alle Schnittstellen gültig sind, zusätzlich eingeengt werden, siehe oben. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 47 / 108...
  • Seite 48 1 ... 10 V; 1 V / Dekade; Druck p2 (1 V / Dek.) 2,5 V = 1 x 10 mbar; 8,5 V = 1000 mbar Leckrate log. H./ Sonderfunktion. Nur auf Empfehlung von INFICON Leckrate Exp. Inv. verwenden. 48 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 49 INFICON Betrieb | 6 6.2.22 Digitale Eingänge des I/O-Moduls belegen Die digitalen Eingänge PLC-IN 1 ... 10 des I/O-Moduls können beliebig mit den zur Verfügung stehenden Funktionen belegt werden. – Aktives Signal: typisch 24 V XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 49 / 108...
  • Seite 50 → aktiv: ZERO einschalten bzw. ausschalten. Löschen inaktiv → aktiv: Warn- oder Fehlermeldung löschen bzw. Kalibrierung abbrechen. Gasballast inaktiv → aktiv: Gasballastventil öffnen. Bei dem XL3000flex ohne Funktion. aktiv → inaktiv: Gasballastventil schließen, falls nicht dauerhaft geöffnet. 50 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 51 Beim XL-Adapter wird der XL Fluss ausgeschaltet. CAL Mach inaktiv → aktiv: Maschinenfaktor Kalibrierung starten PROOF intern inaktiv → aktiv: Die interne Proof-Funktion starten. Bei dem XL3000flex ohne Funktion. PROOF extern inaktiv → aktiv: Die externe Proof-Funktion starten. START/STOP inaktiv → aktiv: Start bzw.
  • Seite 52 Emission eingeschaltet, Kalibriervorgang inaktiv, kein Fehler geöffnet: Emission ausgeschaltet oder Kalibriervorgang aktiv oder Fehler Warnung geschlossen: Warnung geöffnet: keine Warnung Fehler geschlossen: Fehler geöffnet: kein Fehler CAL aktiv geschlossen: Gerät wird kalibriert. geöffnet: Gerät wird nicht kalibriert. 52 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 53 Prüfleck ist nicht aktiv CAL stabil geschlossen: Kalibrierung mit Prüfleck abgeschlossen (siehe "Zeitpunkt und generelle Voreinstellungen [} 60]") geöffnet: Signal nicht stabil oder Kalibrierung ist nicht aktiv Kathode 2 geschlossen: Kathode 2 ist aktiv geöffnet: Kathode 1 ist aktiv XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 53 / 108...
  • Seite 54 Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > Bus Modul > Adresse LD-Protokoll ASCII-Protokoll – 6.2.25 Betriebsart "Schnüffelbetrieb" Das Gerät verfügt über die Betriebsart Schnüffelbetrieb mit hoher Flussrate. Für den XL3000flex ist nur diese Betriebsart sinnvoll. Betriebsart wählen (Nicht anwendbar für XL3000flex!) (Nicht anwendbar für XL3000flex!) Betriebsart XL Sniffer Adapter Bedieneinheit Betriebsart Schnüffelbetrieb:...
  • Seite 55 Leckrate darstellen wollen, verwenden Sie einen Korrekturfaktor zum verwendeten Prüfgas. Abb. 3: Messbildschirm mit angezeigter Äquivalenzleckrate und eingerichteter Favoritentaste 1 Anzeige von Gasname und Äquivalenzfaktor 2 Favoritentaste zum schnellen Einstellen der “Gasäquivalent-Auswahl“ nach der Einrichtung, siehe “Favoritentasten belegen [} 44]“ XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 55 / 108...
  • Seite 56 6.3.2.2 Gasliste einrichten Sie können bis zu 4 Äquivalenzgase vordefinieren und mit Namen versehen. Anschließend können die Äquivalenzgase in der Gasäquivalent-Auswahl ausgewählt werden, siehe “Gasäquivalent-Auswahl [} 56]“. Bedieneinheit: Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Äquivalenz Leckrate > Gasliste einrichten 56 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 57 Ihre Wahl. Tragen Sie anschließend die molare Masse und den Viskositätsfaktor des Äquivalenzgases ein. Für alle Gase, die nicht in der Gasbibliothek vorhanden sind, wenden Sie sich gern an INFICON. Machen Sie Ihre kundenspezifischen Angaben in den folgenden Fenstern, die durch den Assistenten aufgerufen werden, zunächst “Absoluter Druck...
  • Seite 58 Wählen Sie passend zu Ihrem Prüfgas “Masse 2“, “Masse 3“ oder “Masse 4“. ð Beim Prüfgas Helium öffnet sich das Fenster “Äqivalenz-Gasfaktor He“. Stellen Sie den Äquivalenz-Gasfaktor ein. Im Beispiel (siehe “Äquivalenzfaktor berechnen [} 57]“) für 127: Bedieneinheit: Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Äquivalenzrate Schaltfläche “Molare Masse“ 58 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 59 Bei Überschreiten von Schwellenwerten: • Wenn der Schwellenwert 1 oder 2 überschritten wird, ändert sich im Messfenster die Farbe der Messlinie. • Das Schwellenwert-Relais des Digitalausgangs schaltet, siehe auch “Digitale Ausgänge des I/O-Moduls belegen [} 52]“ bzw. Schnittstellenbeschreibungen. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 59 / 108...
  • Seite 60 Beim Kalibrieren testet das Gerät den eingebauten Vorverstärker. Sie können den ausschalten Verstärkertest abschalten. Dadurch wird die Kalibrierung schneller, aber die Zuverlässigkeit sinkt. Bedieneinheit Hauptmenü > Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > Vorverstärker > Test > Vorverstärkertest bei CAL LD-Protokoll Befehl 370 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:AMPTest (ON,OFF) 60 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 61 Ohne Eingabe des Wertes ist eine Kalibrierung nicht möglich. Für jedes Gas (Masse) muss eine spezifische Leckrate eingestellt werden. Bedieneinheit Hauptmenü > Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > Prüfleck ext. > Masse 2 (3, 4) XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 61 / 108...
  • Seite 62 LD-Protokoll: 11, Parameter 1 ASCII-Protokoll: *CAL:CLOSED IO1000 siehe folgende Abbildung. ð Die Kalibrierung ist beendet, wenn: Bedieneinheit: Alter und neuer Kalibrierfaktor werden angezeigt LD-Protokoll: LD Befehl 260 liefert 0 (READY) ASCII-Protokoll: Befehl *STATus:CAL? liefert IDLE IO1000 siehe folgende Abbildung. 62 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 63 Um zu prüfen, ob eine neue Kalibrierung nötig ist, können Sie die bestehende prüfen. 6.3.4.4 Kalibrierung mit externem Prüfleck prüfen ► LD- und ASCII-Protokoll: Der Verlauf muss abgefragt werden über: Befehl 260 bzw. *STATus:CAL Schnüffelleitung an Prüfleck halten. Warten, bis Leckratensignal eingeschwungen und stabil ist. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 63 / 108...
  • Seite 64 Für das Kalibrieren bei High-Flow: • Helium: Leckrate > 1 x 10 mbar l/s • 100 % H : Leckrate > 1 x 10 mbar l/s • Formiergas (95/5): Leckrate > 2 x 10 mbar l/s 64 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 65 ü Der Kalibrier-Adapter ist mittels Kabel mit dem Dichtheitsprüfgerät verbunden. Zu weiteren Einzelheiten siehe die Betriebsanleitung “CalMate, Kalibrier-Adapter für Prüflecks“. ü Falls auf der Rückseite des XL3000flex keine separate Schnittstelle zum Anschließen des Verbindungskabels vorhanden sein sollte, haben Sie die Verbindung über das IO1000-Modul hergestellt. Siehe auch “Geräteaufbau [} 14]“.
  • Seite 66 Eingabe der Kalibrierfaktoren für Masse 2, 3, 4 im Low Flow und im High Flow. Die Werte werden bei der nächsten Kalibrierung überschrieben. “High Flow-“ bzw. XL-Einstellungen sind nur in der Betriebsart “XL Sniffer Adapter“ verfügbar. 66 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 67 Befehl 6 ASCII-Protokoll Befehl ZERO ZERO-Modus Legt den Grad des von ZERO unterdrückten Messgases fest (nicht mit Filter I•CAL). einstellen alle Dekaden 1 – 2 Dekaden 2 – 3 Dekaden 2 Dekaden 3 – 4 Dekaden XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 67 / 108...
  • Seite 68 Das Deaktivieren der ZERO-Taste (ZERO-Abgleich) verhindert, dass die Messung Schnüffler unbeabsichtigt beeinflusst wird. deaktivieren Bedieneinheit Hauptmenü > Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > Schnüffler > Taster > ZERO bei Start LD-Protokoll Befehl 412 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:BUTSniffer 68 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 69 Zeichnen Sie die Messwerte bei Bedarf auf, siehe auch “Daten aufzeichnen [} 71]“ und “Messdaten kopieren, Messdaten löschen [} 72]“. Schalten Sie das Gerät aus. 6.5 Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern Signalfilter Mit den Signalfiltern kann die Leckratenanzeige bezüglich Flankensteilheit und auswählen Rauschverhalten beeinflusst werden. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 69 / 108...
  • Seite 70 Update-Intervall für den Offset-Wert bei negativem Leckraten-Signal (außer für den einstellen I•CAL-Filter). Auflösung 0,1 s (50 = 5,0 s) Bedieneinheit Hauptmenü > Einstellungen > ZERO/Filter > Einstellungen Filter > ZERO Zeit LD-Protokoll Befehl 411 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:ZEROTIME 70 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 71 Die Daten können in der Bedieneinheit oder auf einem USB-Stick gespeichert werden. Der Speicherplatz in der Bedieneinheit ist beschränkt auf die Aufzeichnung einer 24stündigen Messung. • USB-Stick • Bedieneinheit Bedieneinheit Hauptmenü > Funktionen > Daten > Rekorder > Kopieren > Dateien kopieren XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 71 / 108...
  • Seite 72 • “Hauptmenü > Funktionen > Daten > Rekorder > Kopieren > Dateien Kopieren“ • “Hauptmenü > Funktionen > Daten > Rekorder > Löschen > Dateien Löschen“ 6.8 Software aktualisieren Softwareaktualisierungen von INFICON werden mit Hilfe eines USB-Sticks eingespielt. Die Update-Funktion des Geräts finden Sie unter „Funktionen > Daten > Update“.
  • Seite 73 ð Folgende Hinweise werden nach Wählen der Taste "Start" auf dem Touchscreen angezeigt: - IO1000 anschließen und einschalten. - Boot-Modus aktivieren (DIP S2.3 einmal ein- und ausschalten). - Wenn die STATUS LED grün blinkt OK drücken. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 73 / 108...
  • Seite 74 Energie und • Energy values: Informationen zu Verbrauchswerten Betriebsstunden • Operation hours: Anzeige zu Betriebsstunden • Supply voltages: Informationen zu den internen Versorgungsspannungen • Power supply: Informationen zu den Spannungsversorgungen der Bauteile Verlauf • Fehler, Fehler-/Warnungsverlauf 74 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 75 • Ion source: Informationen zur eingesetzten Ionen-Quelle • Preamplifier: Informationen zum Preamplifier • Preamplifier test: Informationen zum Preamplifier-Test. Schnittstellen • I/O module (1): Informationen zu Softwareversion, Ein- und Ausgängen • I/O module (2): Visualisierte Informationen zu den digitalen Eingängen XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 75 / 108...
  • Seite 76 Abb. 7: I/O module (2): Visualisierte Informationen zu den digitalen Eingängen Zustand der Eingangssignale Konfigurierte Funktion (INV = Funktion ist invertiert) Status der Funktion (aktiv oder inaktiv) • I/O module (3): Visualisierte Informationen zu den digitalen Ausgängen 76 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 77 Die Parameter können als alphabetische Liste mit Namen und aktueller Änderungsberechtigu Änderungsberechtigung angezeigt werden. Jeder Listeneintrag ist eine Schaltfläche, ngen anzeigen die durch Betätigen die Berechtigung ändert. Die Änderungen sind entsprechend der Hierarchie der Bediener möglich. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 77 / 108...
  • Seite 78 Die Einstellungen des Massenspektrometermoduls können auf die Modul Werkseinstellungen zurückgesetzt werden. Werkseinstellungen laden (Nicht anwendbar für XL3000flex!) (Nicht anwendbar für XL3000flex!) Zurücksetzen der Einstellungen für XL Sniffer Adapter Mode Bedieneinheit Hauptmenü > Funktionen > Daten > Parameter > Rücksetzen >...
  • Seite 79 Die folgende Tabelle zeigt alle Warn- und Fehlermeldungen. Es werden mögliche Ursachen für die Störung und Hinweise zur Störungsbeseitigung genannt. Beachten Sie, dass die mit Stern gekennzeichneten Arbeiten nur von Servicepersonal durchgeführt werden darf, das von INFICON autorisiert wurde. Warnung Fehleranzeige...
  • Seite 80 EEPROM enthält keine kompatiblen Daten Err130 Sniffer nicht Die Schnüffelleitung ist nicht angeschlossen angeschlossen. Wrn132 SL3000 nicht unterstützt Mit dem XL3000flex darf nur die SL3000XL verwendet werden Wrn150 Druck Sensor 2 nicht – – Drucksensor PSG500 an einen angeschlossen FINE-Anschluss anschließen.
  • Seite 81 7V > des MSB defekt Sollwerts Wrn302 Suppressorspannung zu 297V Kurzschluss Supressor, IF-Board niedrig oder MSB defekt Wrn303 Suppressorspanung zu 363V MSB defekt hoch Wrn304 Spannung Anode-Kathode Kurzschluss Anode -Kathode, IF- zu niedrig Board oder MSB defekt XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 81 / 108...
  • Seite 82 Einschalten nicht gesteckt oder defekt Wrn352 Vorverstärker nicht Vorverstärker defekt, Kabel nicht angeschlossen gesteckt Err358 Vorverstärker pendelt Signal schwankt zu stark (siehe zwischen 2 Bereichen Befehl 1120) Vorverstärker defekt Wrn359 Vorverstärker übersteuert Signal zu groß, Vorverstärker defekt 82 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 83 TMP Stromaufnahme zu hoch Err405 Kein Hochlauf der TMP 5 Min. Druck zu hoch, TMP fehlerhaft Err410 TMP Temperatur zu hoch 61°C Kühlung ausgefallen, Einsatzbedingungen MSB-Modul überprüfen Wrn411 Hohe TMP Temperatur 60°C Kühlung ausgefallen, Einsatzbedingungen MSB-Modul überprüfen XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 83 / 108...
  • Seite 84 < 90% des Emission war vorher stabil, zusammengebrochen Sollwerts Druck p1 zu hoch, Meldung nach 5s > 110% des Sollwerts Wrn540 Druck zu niedrig, Sniffer Parameter Schnüffler verstopft, blockiert Sniffer Schnüffelventil defekt, Filter Fluss- verstopft Warnung 84 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 85 > 200% des Kalibrierleck, Maschinenfaktor letzter Kalibrierung alten Werts oder Teilstromfaktor hat sich geändert Wrn604 Int. Kalibr. nicht möglich, Prüfleck ist nicht enabled fehlende Kontrolle Prüfleck Wrn605 Differenz beim Kalibrieren Prüfleck defekt oder Signal zu zu klein klein. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 85 / 108...
  • Seite 86 Starten (Warmlaufphase) des Lecksuchers wird nicht empfohlen. Die Warnmeldung kann abgeschaltet werden: – LD-Protokoll: Bef 429 – ASCII: *CONFig:CALWarn    (ON,OFF) Wrn670 Fehler beim Kalibrieren Da beim Kalibrieren ein Problem aufgetreten ist, müssen Sie neu kalibrieren. 86 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 87 Geräts. Durch das Hochstufen von Warnmeldungen zu Fehlermeldungen kann man somit verhinden, dass ein Bediener diese Warnungen ignoriert und mit dem Gerät weiter arbeitet. Ausgesuchte Warnungen zu Fehlern hochstufen “Einstellungen > Einrichten > Benachrichtigungen > Warnung -> Fehler“ XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 87 / 108...
  • Seite 88 ð Wählen Sie aus den Ziffern 1 – 8 die verwendete “Listeneintrag Nr.“ mit der zugeordneten Warnungsnummer. ð Stellen Sie in der angezeigten Nummernübersicht der Warnungen einen Wert unter 100 ein. Dadurch wird “Kein Eintrag“ angezeigt. Bestätigen Sie mit “OK“. 88 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 89 8.2 Wartung des XL3000flex Zu Ihrer Sicherheit empfehlen wir, sich bei Wartungsarbeiten, die ein Öffnen des Gerätes erfordern, an Ihren INFICON-Service zu wenden. Sie können die Sicherungen, die Filtermatten des Ventilatoreinlasses und den Filter in der Schnüffelspitze selbst austauschen, ohne das Gerät zu öffnen.
  • Seite 90 Ausgangsposition, bis die Abdeckung einrastet. 8.2.3 Wechsel der Filtercartridge an der Schnüffelspitze Das Wechselintervall hängt von den Umgebungsbedingungen ab. Im Allgemeinen muss die Filtercartridge alle 500 bis 1500 Betriebsstunden gewechselt werden. Die Filtercartridge liegt in der Schnüffelspitze. 90 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 91 Plastikkappe am Ende der Filterspitze abschrauben. Mit dem Daumen das Ende der Schnüffelspitze verschließen. Falls die Warrnmeldung ausbleibt, die Hutmutter fester anziehen, und – wenn das erfolglos bleibt – den Filtersitz prüfen. Plastikkappe am Ende der Schnüffelspitze wieder befestigen. Gerät kalibrieren XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 91 / 108...
  • Seite 92 8.2.4 Wartung durch den Hersteller Wartungsarbeiten im Innern des Geräts dürfen nur durch den Hersteller durchgeführt werden. Wir empfehlen, das Gerät in regelmäßigen Abständen durch den INFICON- Service warten zu lassen. Zu weiteren Einzelheiten siehe “Gerät zur Wartung, Reparatur oder Entsorgung einsenden [} 93]“.
  • Seite 93 übersenden Sie eine ausgefüllte Kontaminationserklärung. ð Sie erhalten dann eine Rücksendenummer und die Versandadresse. Verwenden Sie zur Rücksendung die Originalverpackung. Bevor Sie das Gerät versenden, befestigen Sie ein Exemplar der ausgefüllten Kontaminationserklärung außen auf der Verpackung. Zur Kontaminationserklärung siehe unten. XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 93 / 108...
  • Seite 94 9 | Außerbetriebnahme INFICON 94 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 95 0,484 1,08 R114 170,9 0,545 1,217 R115 154,5 0,627 R116 0,709 1,583 R123 152,9 0,54 1,205 R124 136,5 0,581 1,297 R125 0,653 1,458 R134a 0,591 1,319 R141b 0,464 1,036 R142b 100,5 0,494 1,103 R143a 0,561 1,252 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 95 / 108...
  • Seite 96 52% R124 R402A Mischung aus 101,6 0,647 1,444 38% R22 60% R125 2% R290 R402B Mischung aus 94,7 0,642 1,433 60% R22 38% R125 2% R290 R403A Mischung aus 0,642 1,433 75% R22 20% R218 5% R290 96 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 97 20% R134a R407C Mischung aus 86,2 0,627 10% R32 70% R125 20% R134a R407D Mischung aus 0,612 1,366 23% R32 25% R125 52% R134a R407E Mischung aus 83,8 0,622 1,388 25% R32 15% R125 60% R134a XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 97 / 108...
  • Seite 98 11% R152a R411B Mischung aus 83,1 0,62 1,388 3% R1270 94% R22 3% R152a R411C Mischung aus 83,4 0,627 3% R1270 95,5% R22 1,5% R152a R412A Mischung aus 92,2 0,602 1,344 70% R22 5% R218 25% R142b 98 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 99 65,1% R125 31,5% R134a 3,4% R600a R438A Mischung aus 104,9 0,617 1,377 45% R125 44,2% R134a 8,5% R32 1,7% R600 0,6% R601a R441A Mischung aus 49,6 0,398 0,888 54,8% R290 36,1% R600 6% R600a 3,1% R170 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 99 / 108...
  • Seite 100 90,8 0,62 1,384 22% R32 78% R1234yf R500 Mischung aus 99,3 0,581 1,297 74% R12 26% R152a R501 Mischung aus 93,1 0,627 75% R22 25% R12 R502 Mischung aus 111,6 0,647 1,444 49% R22 51% R115 100 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 101 58,1 0,377 0,842 Butan R600a 58,1 0,377 0,842 Iso-Butan R601 72,2 0,341 0,761 Pentan R601a 72,2 0,336 0,75 Iso-Pentan R601b 72,2 0,337 0,752 Neopentan R601c 70,1 0,337 0,752 Cyclopentan R1233zd 130,5 0,558 1,246 R1234yf 0,624 1,393 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 101 / 108...
  • Seite 102 Helium 2,232 HT135 Galden HT135 2,232 Krypton 1,275 2,846 Stickstoff 0,892 1,991 Neon 20.2 1,586 3,54 R717 0,505 1,127 Sauerstoff 1,03 2,299 146,1 0,765 1,708 Xenon 131,3 1,153 2,574 ZT130 Galden ZT130 2,232 Tab. 1: Gasbibliothek V3.24 102 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 103 Filter for Oil/Water Protection Tip 521-017 Schnüffelspitze ST312XL, 120 mm, starr 521-018 Schnüffelspitze FT312XL, 120 mm, flexibel 521-019 Schnüffelspitze ST385XL, 385 mm, starr 521-020 Schnüffelspitze FT385XL, 385 mm, flexibel 521-021 Schnüffelspitze FT250XL, 250 mm, flexibel 521-022 Spezialfilterkartusche für SL3000XL(25x) 521-023 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 103 / 108...
  • Seite 104 12 | CE-Konformitätserklärung INFICON 12 CE-Konformitätserklärung 104 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 105 INFICON RoHS | 13 13 RoHS XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 105 / 108...
  • Seite 106  34 Fehlermeldung  79 Rauschverhalten  69 Gasdurchsatz  13 Reinigungs- und Wartungsarbeit  89 Gewicht  23 Reinigungsarbeiten  89 Reset-Taste  14, 21 Handgriff  19 Hauptsicherung  23 Schnüffelbetrieb  54 Helligkeit  44 Schnüffelleitung  12 High Flow  12 Schutzart  24 Schwellenwerte einstellen  59 106 / 108 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504)
  • Seite 107 Tastatursperre  20 Tast-PIN  11, 14, 21 Touchscreen  14, 15, 42 Uhrzeit  35 Umgebungstemperatur  24 USB-Stick  72 Verschmutzungsgrad  25 Warnmeldung  79 Warnung  44 Warnungen als Fehler  87 Wartung  89 Werkseinstellungen  25 XL3000flexRC  15, 33, 41 Zurücksetzen  78 XL3000flex-Betriebsanleitung-jina83de1-11-(2504) 107 / 108...

Diese Anleitung auch für:

Xl3000flexrc