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INFICON UL1000 Originalbetriebsanleitung
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INFICON UL1000 Originalbetriebsanleitung

INFICON UL1000 Originalbetriebsanleitung

Helium-dichtheitsprüfgerät
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Original-Betriebsanleitung
UL1000, UL1000 Fab
Helium-Dichtheitsprüfgerät
Katalognummern
UL1000: 550-000A, 550-001A, 550-002A / UL1000 Fab: 550-100A, 550-101A, 550-102,
550-111R
Ab Software-Version
V5.19 (Gerätebedienung)
iina70de1-18-(2508)
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Verwandte Anleitungen für INFICON UL1000

Inhaltszusammenfassung für INFICON UL1000

  • Seite 1 Original-Betriebsanleitung UL1000, UL1000 Fab Helium-Dichtheitsprüfgerät Katalognummern UL1000: 550-000A, 550-001A, 550-002A / UL1000 Fab: 550-100A, 550-101A, 550-102, 550-111R iina70de1-18-(2508) Ab Software-Version V5.19 (Gerätebedienung)
  • Seite 2 INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Köln, Deutschland...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    2.3.2.4 Schreiber (Recorder) .................. 28 2.3.2.5 RS232 ...................... 29 2.3.2.6 Fernbedienung RC1000/Funktransmitter/SMART-Spray ........ 29 2.4 Vakuumanschlüsse ...................... 31 2.4.1 Einlass .......................  31 2.4.2 Auspuff ...................... 31 2.4.3 Belüftungsanschluss .....................  32 2.4.4 Anschluss Spülgas (UL1000 Fab) / Gasballast (UL1000).......... 32 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)
  • Seite 4 3.2.2 Interne Kalibrierung.................... 36 3.2.3 Überprüfung .......................  36 4 Beschreibung und Funktionsweise ...................  37 4.1 Einführung ........................ 37 4.2 Aufbau des UL1000 und UL1000 Fab.................  37 4.2.1 Vakuumsystem .................... 37 4.2.2 Bedieneinheit ......................  40 4.2.2.1 LCD Anzeige .................... 41 4.2.2.2 START Taste.................... 41 4.2.2.3 STOP Taste ....................
  • Seite 5 6.4.6.4 Triggeralarm .................... 64 6.5 Kalibrierung .........................  64 6.6 Einstellungen ........................  65 6.6.1 Vakuumeinstellungen ....................  65 6.6.1.1 Automatisches Spülen (nur UL1000 Fab)............ 66 6.6.1.2 Verzögerung der Belüftung ................ 66 6.6.1.3 Vakuumbereiche .................. 67 6.6.1.4 Leckrate internes Testleck ................ 67 6.6.1.5 Maschinenfaktor...................  68 6.6.1.6 Einstellungen Auto Leak Test ................
  • Seite 6 9.5.3 Gerät zu Wartungszwecken öffnen ................. 100 9.6 Luftfiltereinsatz prüfen und austauschen ................ 101 9.7 Auspuff-Schalldämpfer ersetzen.................. 103 9.8 Auspuff Filter kontrollieren/entleeren................ 103 9.8.1 Filtereinsatz ersetzen ................... 104 9.9 Ölstand D16B überwachen, ergänzen ................ 106 9.10 Ölwechsel D16B ...................... 108 9.11 Scrollpumpe ........................ 109 10 CE-Konformitätserklärung .................... 110 11 RoHS .......................... 111 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)
  • Seite 7 INFICON Inhaltsverzeichnis 12 Diagramm.......................... 112 Stichwortverzeichnis ...................... 113 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 8: Allgemeines

    Wir empfehlen Ihnen, diese Betriebsanleitung sorgfältig zu lesen, um so von Beginn an optimale Arbeitsbedingungen sicherzustellen. Diese Betriebsanleitung enthält wichtige Informationen zu Funktion, Installation, Inbetriebnahme und Betrieb des UL1000 und UL1000 Fab. Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behalten wir uns vor. Die Abbildungen sind unverbindlich.

  • Seite 9: Begriffsdefinitionen

    Durch diese Funktion wird der interne Gerätenullpunkt bestimmt, der dann vom aktuell gemessenen Leckratensignal abgezogen wird. Diese Funktion wird bei Betätigung der START-Taste aktiviert, sofern das UL1000 oder UL1000 Fab zuvor mindestens 20 s in der Betriebsart "Standby" oder "Belüften" gelaufen ist. Sollte später der zuvor unterdrückte Heliumuntergrund weiter sinken, so dass nur die...

  • Seite 10: Kleinste Nachweisbare Leckrate

    Die kleinste nachweisbare Leckrate, die der UL1000 oder UL1000 Fab erfassen kann (≤ 5 x 10  mbar l/s). Menü Das Menü erlaubt es dem Bediener des UL1000 oder UL1000 Fab, diesen entsprechend seinen Wünschen einzustellen. Das Menü hat eine Struktur, die sich baumartig verzweigt. Messen / Messbetriebsart Der UL1000 oder UL1000 Fab misst die Leckrate des Prüfobjekts.
  • Seite 11 INFICON Allgemeines | 1 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 11 / 115...

  • Seite 12: Einführung

    INFICON 1.3 Einführung 1.3.1 Verwendungszweck Der UL1000 und UL1000 Fab sind Helium-Dichtheitsprüfgeräte. Sie dienen zur Lokalisierung von Lecks und zur Messung der Größe von Lecks in Objekten, wobei zwei verschiedene Methoden zur Verfügung stehen: • Bei der Vakuumlecksuchmethode wird der Prüfobjekt erst evakuiert und von außen mit Helium besprüht.

  • Seite 13: Zum Abpumpen Kondensierbarer Gase Und Dämpfe

    INFICON Allgemeines | 1 Zum Abpumpen kondensierbarer Gase und Dämpfe Nur für UL1000: Hinweis: Abpumpen von kondensierbaren Gasen und Dämpfen: Beim Abpumpen von Prüfobjekten kann darin enthaltener Wasserdampf in die Vorpumpe gelangen. Mit dem in der Luft enthaltenen Wasserdampf kann, speziell in feuchten Regionen oder bei nassen oder feuchten Prüfobjekten, die zulässige...
  • Seite 14 1 | Allgemeines INFICON Nur für UL1000 Fab: HINWEIS Drohender Sachschaden durch kondensierbare Gase und Dämpfe Kondensierbare Gase und Dämpfe können in das Innere des Gerätes gelangen und die Vorpumpe zerstören. Besonders in Gebieten mit hoher Luftfeuchtigkeit ist beim Abpumpen des Prüfobjekts Vorsicht geboten.

  • Seite 15: Technische Daten

    ≤ 3 min 1. Zum Erreichen des Bereichs mit der minimalen nachweisbaren Leckrate müssen erst einige Bedingungen erfüllt werden: – Der UL1000 und UL1000 Fab muss warm gelaufen sein. – Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine Vibrationen/Stöße). – Das Prüfobjekt muss lange genug evakuiert worden sein (so dass sich der Untergrund nicht weiter verringert).

  • Seite 16: Weitere Technische Daten

    Für den Fall von Reklamationen das Verpackungsmaterial aufbewahren. Um das Gerät von der Palette zu fahren, die Schaumstofframpe verwenden, die innerhalb der Verpackung beiliegt. Den UL1000 oder UL1000 Fab unmittelbar nach Erhalt auspacken, selbst wenn das Gerät erst später installiert wird. 16 / 115...

  • Seite 17: Lieferumfang

    Die Versandverpackung auf etwaige äußere Beschädigungen hin untersuchen. Das gesamte Verpackungsmaterial entfernen. Prüfen, ob die Lieferung des UL1000 oder UL1000 Fab vollständig ist und das Gerät einer sorgfältigen Sichtprüfung unterziehen. Falls eine Beschädigung entdeckt wird, dies unverzüglich der Spedition und der Versicherung mitteilen.

  • Seite 18: Schnüffelleitung Sl200

    Der Heliumflaschenhalter erlaubt es, einen Heliumvorrat mit einer Sprühpistole zusammen mit dem UL1000 und UL1000 Fab herumzutragen. Nur kleine bis mittelgroße Flaschen (max. 10 l, 200 bar) passen, ohne die Stabilität des UL1000 und UL1000 Fab zu beeinträchtigen. 1.4.2.4 Antistatikmatte Diese Matte wird auf der Arbeitsfläche des UL1000 und UL1000 Fab plaziert und...

  • Seite 19: Testkammer Tc1000

    Arbeiten erlaubt. Magnete an der Unterseite ermöglichen das Anbringen an waagrechten bis senkrechten metallischen Oberflächen. Mit der Fernbedienung RC1000WL können die Dichtheitsprüfgeräte UL1000 und UL1000 Fab auch über ein Kabel mit einer Länge von bis zu 28 m gesteuert werden. Abb. 1: RC1000WL drahtlose Fernbedienung 1.4.2.7 Testkammer TC1000 Diese Testkammer macht aus dem UL1000 oder dem UL1000 Fab einen kompletten Arbeitsplatz, an dem hermetisch verschlossene Bauteile getestet werden können.

  • Seite 20: Installation

    Orangefarbige Etiketten auf dem Gehäuseboden weisen auf diese Schrauben hin. Abb. 3: Transportsicherung Die an dem Chassisboden angezogenen Schrauben sichern das Gerät beim Transport. Beim Arbeiten mit dem UL1000 Fab sind die Schrauben vorher zu lösen. Dafür als erstes die Kontermutter lösen, siehe nächste Abbildung. 20 / 115...

  • Seite 21: Aufstellungsort

    Zum Transport die Schrauben wieder fest anziehen und diese mit der Kontermutter fixieren. 2.2 Aufstellungsort Den UL1000 / UL1000 Fab an die gewünschte Stelle bringen und die Laufrollen arretieren. Stellen Sie sicher, dass im Raum für die Aufstellung nicht bereits Prüfgase austreten, die das Messergebnis am Prüfobjekt beeinflussen können.
  • Seite 22 Kontakt mit Basen, Säuren oder Lösemittel vermeiden.  Ebenso sollte das Gerät nicht extremen klimatischen Bedingungen ausgesetzt  werden. HINWEIS Sachschaden durch Überhitzung Eine ausreichende Luftkühlung ist sicherzustellen.  Die Lufteinlass- und Luftauslassöffnungen müssen immer freibleiben.  22 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 23: Elektrische Anschlüsse

    "Hospital-Grade"-Netzkabel verwendet werden. Wenn das Kabel beschädigt ist, muss es durch ein originales "Hospital-Grade"-  Ersatzteil ersetzt werden (INFICON p/n 200000587). Beachten Sie, dass "Hospital-Grade"-Netzkabel mit dem gleichen Schriftzug und  einem grünen Punkt gekennzeichnet sind wie der NEMA 5-15-Netzstecker.
  • Seite 24 INFICON HINWEIS Drohender Sachschaden durch falschen Netzanschluss Vor dem Anschluss des UL1000 / UL1000 Fab an die Netzspannung muss zuerst geprüft werden, ob die Netzspannungsangabe auf dem UL1000 / UL1000 Fab mit der örtlich verfügbaren Netzspannung übereinstimmt. Das Gerät ist ausschließlich zum Anschluss an Einphasen-Netze mit Installationssicherungen zugelassen (Sicherungsautomat max.

  • Seite 25: Anschlüsse Für Zubehör Und Steuersignale

    Schreiber Lautsprecher RS232 Anschluss für Belüftung Fernbedienung RC1000WL / Anschluss Spülgas ( UL1000 Fab) / Helium Sprühgerät SMART-Spray Gasballast (UL1000) Bei den Anschlüssen Zubehör (Accessories), Digital Out (Digitalausgang), Digital In (Digitaleingang) und Recorder (Schreiber) befindet sich Pin 1 oben. Die Pin- Nummern werden nach unten hin weitergezählt. Die Buchsenleisten 2 und 3 sind mechanisch codiert, um eine Verwechslung der Gegenstecker zu verhindern.

  • Seite 26: Digitalausgang (Digital Out)

    Messmodus befindet. ZERO active Ist geschlossen, falls Zero-Funktion eingeschaltet ist. Ready Ist geschlossen, falls das Gerät messbereit ist (Emission eingeschaltet, kein Fehler). Calibration active Ist geschlossen, falls sich das Gerät zur Zeit in der Kalibrierroutine befindet. 26 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 27: Digitaleingang (Digital In)

    Die Funktion der Relais wird nicht überwacht (keine Fehlermeldung). Insbesondere für kritische, wiederkehrende und andauernde Benutzung empfehlen wir die Überwachung mittels geeigneter Prozesse. 2.3.2.3 Digitaleingang (Digital In) Diese Eingänge können benutzt werden, um den UL1000 / UL1000 Fab mit einer programmierbaren Steuerung (SPS) zu betreiben. Kontakt Signal +24 V, verbunden mit Pin 1 der Buchse "OUT"...

  • Seite 28: Schreiber (Recorder)

    Kontakt 1 und 4 an, das Bezugspotential (GND) liegt an den Kontakten 2 und 3 an. Die Kontakte sind von oben nach unten durchnumeriert. Ein Diagramm, aus dem der Zusammenhang zwischen Druck und Leckrate gegen die Ausgangsspannung hervorgeht, siehe "Diagramm [} 112]". 28 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 29: Rs232

    Die Schreiberausgänge sind gegenüber den anderen Anschlüssen elektrisch isoliert. Falls dennoch Brummstörungen auftreten sollten, empfiehlt es sich, den UL1000 / UL1000 Fab und den Schreiber an der gleichen Netzphase zu betreiben. Sollte dies nicht möglich sein, gilt es sicherzustellen, dass die Massen beider Geräte auf dem gleichen Potential liegen.
  • Seite 30 Schnittstelle auf der Rückseite des Dichtheitsprüfgeräts. Kleben Sie eine Seite des Klebepads auf den BT-Adapter, die andere Seite auf den UL1000 oder UL1000 Fab. Um die optimale Reichweite des Bluetooth-Signals zu erreichen, befestigen Sie das Klebepad so weit oben wie möglich am UL1000 oder UL1000 Fab.

  • Seite 31: Vakuumanschlüsse

    Einlass-Flansch verschließen, angesaugt werden. Körperteile vom Einlass-Flansch fern halten.  Der Einlass befindet sich oben auf dem UL1000 / UL1000 Fab. Es handelt sich hierbei um einen DN 25 KF Flansch. Wird der Vakuum-Leckprüfmodus ausgewählt, dann muss das Prüfobjekt oder die Vakuumkammer an diesem Flansch angeschlossen werden, siehe auch "Betriebsart [} 57]".

  • Seite 32: Belüftungsanschluss

    2 | Installation INFICON Der Auspuff-Flansch (siehe auch "Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale [} 25]") befindet sich unter dem UL1000 / UL1000 Fab auf dessen Rückseite. Es handelt sich hierbei um einen DN 16 KF Flansch. Im Lieferzustand ist nur der Auspuff-Filter vormontiert. Die Filterpatrone wird zusammen mit dem Dichtheitsprüfgerät geliefert und wird am Auspuff installiert.
  • Seite 33 Maximaler Einlassdruck beim Schnüffeln 1 mbar Minimaler Einlassdruck beim 0,1 mbar Schnüfffeln Anzahl der Nachkommastellen bei Leckratenanzeige Dispaly scrollen Partikelschutz Direktzugriff auf Kalibrierungsroutine Verseuchungsschutz Abschaltgrenzwert für 1E-3 mbar l/s Verseuchungsschutz Steuerungsort Lokal Alarm-Verzögerung 30 s Leckraten-Filter I•CAL Zero Freigegeben UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 33 / 115...

  • Seite 34: Überprüfungen Vor Inbetriebnahme

    UL1000 / UL1000 Fab einzuschalten ist, wie man Messungen durchführen kann und wie eine interne Kalibrierung abläuft. Falls sich bei der Erstinbetriebnahme der UL1000 / UL1000 Fab nicht so verhält wie erwartet oder sich seltsam verhält, kann das Dichtheitsprüfgerät jederzeit über seinen Netzschalter ausgeschaltet werden.
  • Seite 35 INFICON Überprüfungen vor Inbetriebnahme | 3 Der Startvorgang dauert ca. 3 min und dessen Ende wird von einem kurzen Signalton angezeigt. Nun befindet sich der UL1000 / UL1000 Fab in Standby. Abb. 8: Ansicht des UL1000 Fab Bedieneinheit Einlass Prüfen, dass der Einlass blindgeflanscht ist. Sollte dies nicht der Fall sein, dann einen Blindflansch mit O-Ring-Dichtung am Einlass anflanschen.

  • Seite 36: Interne Kalibrierung

    3 | Überprüfungen vor Inbetriebnahme INFICON Die STOP Taste betätigen, und der UL1000 / UL1000 Fab geht in Standby. Betätigt man die STOP Taste für einige Sekunden, dann wird der Einlass des UL1000 / UL1000 Fab belüftet. Zum Beenden des Hochlaufes bitte siehe auch "Überprüfung [} 36]". Zum Kalibrieren bitte siehe auch "Interne Kalibrierung [} 36]".

  • Seite 37: Beschreibung Und Funktionsweise

    Vakuumanwendungen, d. h. das Prüfobjekt wird bei der Prüfung evakuiert. Das Vakuum wird mit Hilfe des integrierten Pumpsystems erzeugt. Eine weitere Betriebsart des UL1000 und UL1000 Fab ist der Schnüffelmodus, welcher nur in Verbindung mit einer Schnüffelleitung, siehe auch "Zubehör und Optionen [} 17]", genutzt werden kann.
  • Seite 38 4 | Beschreibung und Funktionsweise INFICON Abb. 10: Vakuum-Diagramm UL1000 und UL1000 Fab MS: Massenspektrometer, Scrollpumpe (dient zur Erzeugung Heliumsensor (180° magnetisches des Vorvakuumdruckes für die Sektorfeld-Massenspektrometer) TMP und pumpt zudem die Prüfobjekte ab) Turbomolekularpumpe (TMP, Einlassflansch dient zur Erzeugung des vom MS benötigten Hochvakuums)
  • Seite 39 Die Ventile V1a, V1b, V2, V4a und V4b steuern den Gasfluss während der Messung. Ventile V5 (nur UL1000), V6 und V8 werden zur Belüftung des Systems und der Turbopumpe eingesetzt. Ventil V7 öffnet und schließt das interne Testleck während des Kalibriervorgangs.

  • Seite 40: Bedieneinheit

    Taste Nr. 3 Taste Nr. 8 Taste Nr. 4 MENU (MENÜ) Taste (siehe auch "MENÜ Taste [} 43]") START Taste STOP Taste (siehe auch "START Taste (siehe auch "STOP Taste [} 41]") [} 41]") Bedieneinheit ZERO Taste (siehe auch "ZERO Taste [} 41]") 40 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 41: Lcd Anzeige

    Warnungen und Fehlermeldungen ausgegeben. 4.2.2.2 START Taste • Die Betätigung der START Taste, siehe auch "Bedieneinheit [} 40]", startet die Messungen auf dem UL1000 oder UL1000 Fab. • Wird im Messmodus die START Taste nochmals betätigt, wird die maximale Leckratenanzeige (Q ) aktiviert. Es wird dann die maximale Leckrate angezeigt, die seit dem erneuten Drücken von START aufgetreten ist.
  • Seite 42 Leck angezeigt. Das Messen kleinster Leckraten wird damit sehr erleichtert. Abb. 13: Nullstellung rückgängig machen Angezeigte Leckrate Messsignal Um das Messsignal sehen zu können, muss die ZERO-Taste ca. 3 s gedrückt werden. Der gespeicherte Wert wird auf Null gesetzt, das Untergrundsignal wird nicht mehr unterdrückt. 42 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 43: Menü Taste

    Ziffernwert ausgewählt werden kann. Das Untermenü schließt dann automatisch, und die nächste Eingabestelle des ganzen Zahlenwertes wird invertiert dargestellt. • Nachdem die letzte Ziffer erreicht wurde, müssen alle Korrekturen durch die Eingabe von OK (Taste Nr. 8) bestätigt werden. UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 43 / 115...

  • Seite 44: Betriebsarten

    Lecks aufgrund der Druckdifferenz eindringen kann. Bei Betätigung der "START" Taste (siehe auch "START Taste [} 41]"), öffnen sich die Ventile V1a und V1b, und das Prüfobjekt wird von der Vorvakuumpumpe (UL1000) oder der Scrollpumpe abgepumpt (UL1000 Fab). Gleichzeitig wird Ventil V2 geschlossen, um einen unzulässigen Druckanstieg in der Turbopumpe und im...
  • Seite 45  mbar l/s. Da die Scrollpumpe das Prüfobjekt weiterhin evakuiert, fällt der Einlassdruck p1 weiter. Unter 2 mbar schaltet der UL1000 und UL1000 Fab in den FINE Modus, d h. das Ventil V4a öffnet sich und das Ventil V1b schließt sich. Der Gasfluss gelangt nun in einer Zwischenebene in die Turbopumpe. Die System-Empfindlichkeit ist nun größer, die kleinste nachweisbare Leckrate beträgt hier 1 × 10...

  • Seite 46: Schnüffelmodus

    INFICON Nun evakuiert der untere Teil der Turbopumpe weiterhin das Prüfobjekt, und nachdem der Druck p1 auf unter 0,4 mbar gefallen ist, schaltet der UL1000 oder UL1000 Fab in den ULTRA Modus, d. h. V1a und V4a schließen und V4b öffnet. Der Gaseinlass in die Turbopumpe erfolgt nun weiter oben. Das Saugvermögen beträgt am Einlass nun 2,5 l/s, und die kleinste nachweisbare Leckrate beträgt hier...

  • Seite 47: Betrieb Des Ul1000 Und Ul1000 Fab

    Betrieb des UL1000 und UL1000 Fab | 5 5 Betrieb des UL1000 und UL1000 Fab Der UL1000 oder UL1000 Fab wird durch Betätigen des Netzschalters eingeschaltet, siehe auch "Hochlauf und Messen [} 34]". Nach weniger als 3 min ist der Hochlauf komplett; das Dichtheitsprüfgerät befindet sich in Standby und ist somit messbereit.

  • Seite 48: Anzeigen Im Standby Modus

    Spülvorgang gestartet werden, siehe auch "Spülvorgang [} 48]". 5.3.1 Spülvorgang Jedes Mal, wenn der UL1000 oder UL1000 Fab in Standby schaltet, wird automatisch ein Spülvorgang für 20 s ausgelöst. Während dieses Spülvorganges wird die Scrollpumpe über den Spülanschluss (siehe auch "Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale [} 25]") gespült.

  • Seite 49: Lautstärke Für Das Akustische Signal

    INFICON Betrieb des UL1000 und UL1000 Fab | 5 5.4.2 Lautstärke für das akustische Signal VORSICHT Gehörschädigung durch lautes Alarm-Signal Der Alarm-Pegel des UL1000 / UL1000 Fab kann 85 dB(A) überschreiten. Nur kurzzeitig den Alarm-Signalen aussetzen oder Gehörschutz verwenden.  Auf der linken Seite werden zwei Lautsprechersymbole dargestellt, kombiniert mit den Zeichen "+"...

  • Seite 50: Numerischer Anzeigemodus

    5 | Betrieb des UL1000 und UL1000 Fab INFICON Displaysymbole Bedeutung Erläuterung I•ZERO I•ZERO Zeigt an, dass die Funktion I•ZERO aktiv ist. STABIL Stabil Zeigt an, dass das Untergrundsignal stabil ist. (siehe auch "Zero [} 71]") 5.4.4 Numerischer Anzeigemodus Auf dem Display wird die Leckrate in großen Zahlen angezeigt, siehe auch "Display im Messmodus [} 48]".

  • Seite 51: Beschreibung Der Menüs

    (siehe auch "Betriebsart [} 57]") Trigger und Alarme Einstellung von Maßeinheit, Triggerschwellen und Alarmen (siehe auch "Trigger und Alarme [} 60]") Kalibrierung Kalibrierung des UL1000 und UL1000 Fab (siehe auch "Kalibrierung [} 64]") Einstellungen Einstellung interner Geräteparameter (siehe auch "Einstellungen [} 65]") Info Informationen über den UL1000 und UL1000 Fab (elektrische Daten und...

  • Seite 52: Gesamtübersicht Der Menüpfade

    Betriebsart [} 57] Schnüffeln / Vakuum / Auto Lecktest Trigger level 1 [} 61] Trigger level 2 [} 61] Lautstärke [} 61] Trigger und Alarme Einheiten [} 62] [} 60] Alarmverzögerung [} 62] Audioalarm Typ [} 63] Intern Manuell Automatisch Kalibrierung [} 64] Extern Leckrate bearbeiten Start 52 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)
  • Seite 53 INFICON Beschreibung der Menüs | 6 1. Ebene 2. Ebene 3. Ebene Automatisches Spülen (nur UL1000 Fab) [} 66] Verzögerung der Belüftung [} 66] Vakuumeinstellungen [} 65] Vakuumbereiche [} 67] Auto Leak Test Einstellungen Maschinenfaktor [} 68] Leckrate internes Testleck [} 67] Zero & Untergrund [} 71] Untergrundunterdrückung [} 71]...

  • Seite 54: Anzeige

    Messmodus) und für die Y-Achse im Trend Modus. Die Skala für die Balkenanzeige kann entweder linear oder logarithmisch sein. Mit Hilfe der Pfeile (Auf und Ab) kann man festlegen, wie viele Dekaden von der Balkenanzeige überstrichen werden. 54 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 55: Anzeigebereich Automatisch / Manuell

    Messanzeige über die Tasten Nr. 6 und Nr. 7 geändert werden. 6.2.3 Zeitachse • Hauptmenü > Anzeige > Zeitachse (siehe auch "Hauptmenü [} 51]" und "Anzeige [} 54]") Die Länge der Zeitachse im Trendmodus lässt sich in mehreren Schritten von 16 s bis 960 s ändern. UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 55 / 115...

  • Seite 56: Kontrast

    Falls aus Versehen das Display zu hell oder zu dunkel eingestellt wurde, so dass nichts mehr abgelesen werden kann, lässt sich dies wie folgt ändern: Den UL1000 und UL1000 Fab ausschalten und wieder einschalten. Während der Hochlaufphase Taste Nr. 3 oder Nr. 7 so lange betätigen, bis sich das Display wieder gut ablesen lässt.

  • Seite 57: Nachkommastellen

    "Taste Nr. 3, 7": Verändern der unteren Anzeigegrenze zwischen 1 x 10 und 1 x 10  mbar l/s. "Taste Nr. 5:" ? Hilfstext 6.3 Betriebsart • Hauptmenü > Betriebsart (siehe auch "Hauptmenü [} 51]") Das Menü Betriebsart erlaubt durch ein Untermenü die Auswahl der unterschiedlichen Betriebsarten. UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 57 / 115...

  • Seite 58: Auto Leak Test

    Wenn die Taste "OK" gedrückt wird, wird das Menu "Einstellungen" aufgerufen, siehe auch "Einstellungen Auto Leak Test [} 68]". Hinweis: Der UL1000 kann eine Kalibrierung fordern, falls die Betriebsart gewechselt wird. In solch einem Fall erscheint eine Information. 58 / 115...

  • Seite 59: Prüfen Von Prüfobjekten

    Triggerwert unterschritten wurde, stoppt der Test und die Kammer wird automatisch belüftet. Der Test kann jederzeit durch Drücken der Taste "STOP" beendet werden. Nach dem Start läuft die Prüfung so ab, wie die Voreinstellungen es vorgeben: UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 59 / 115...

  • Seite 60: Trigger Und Alarme

    Abb. 22: Menü Trigger und Alarme Taste Nr. Bezeichnung Beschreibung Zurück Trigger level 1 Festlegung der Triggerschwelle 1 (siehe auch "Trigger level 1 [} 61]") Trigger level 2 Festlegung der Triggerschwelle 2 (siehe auch "Trigger level 2 [} 61]") Lautstärke Siehe auch "Lautstärke [} 61]" 60 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 61: Trigger Level 1

    Der Wert für die Triggerschwelle 1 kann hier eingegeben werden, siehe auch "Numerische Eingaben [} 43]" für die Beschreibung der Eingabe. Trigger 1 und Trigger 2 sind programmierbare Schaltschwellen. Wenn diese Schwellen überschritten werden, reagiert der UL1000 oder UL1000 Fab wie folgt: Display In der Statuszeile des Displays werden die Symbole für Trigger 1 und Trigger 2 invertiert dargestellt, sobald die eingestellten Leckraten überschritten werden (d. h.

  • Seite 62: Einheiten

    Betätigung der "START" Taste zu unterdrücken. Die Alarmverzögerungszeit kann hier geändert werden. "Taste Nr. 3": Pfeil Ab Alarmverzögerungszeit verringern. Der Minimalwert beträgt 0 s. "Taste Nr. 5": ? Hilfstext "Taste Nr. 7": Pfeil Auf Alarmverzögerungszeit erhöhen. Der Maximalwert beträgt 10 min bis unendlich. 62 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 63: Audioalarm Typ

    Unterhalb dieses Fensters ist der Ton konstant niedrig und oberhalb des Fensters ist er konstant hoch. Beispiel: Die Triggerschwelle 1 beträgt 4 × 10  mbar l/s. Somit reicht das Fenster von 4 × 10  mbar l/s bis zu 4 × 10  mbar l/s. Abb. 23: Pinpoint UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 63 / 115...

  • Seite 64: Leckrate Proportional

    Sobald die Leckrate den Wert für Triggerschwelle 1 überschreitet, wird ein Mehrfrequenzsignal erzeugt. Dieses ändert sich nicht bei sich ändernder Leckrate. 6.5 Kalibrierung • Hauptmenü > Kalibrierung (siehe auch "Hauptmenü [} 51]") Siehe auch "Kalibrierung [} 85]" für eine detaillierte Beschreibung des Kalibriervorgangs. Abb. 25: Kalibrierungs Menü 64 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 65: Einstellungen

    • Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen (siehe auch "Hauptmenü [} 51]" und "Einstellungen [} 65]") Dieses Menü erlaubt die Anzeige und Änderung der Einstellungen für das Vakuumsystem. "Taste Nr. 2": Automatisches Spülen (nur UL1000 Fab) (siehe auch "Automatisches Spülen (nur UL1000 Fab) [} 66]") UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 65 / 115...

  • Seite 66: Automatisches Spülen (Nur Ul1000 Fab)

    Einlass belüftet wird, nachdem die STOP Taste betätigt wurde. Wenn die STOP Taste für eine Dauer betätigt wird, die kürzer ist als die eingegebene Belüftungsverzögerungszeit, dann geht der UL1000 oder UL1000 Fab nur in Standby. Wenn die STOP Taste für eine Dauer betätigt wird, die länger ist als die eingegebene Belüftungsverzögerungszeit, dann wird der Einlass belüftet.

  • Seite 67: Vakuumbereiche

    "Taste Nr. 5": ? Hilfstext "Taste Nr. 6": HIGHPUMP (nur UL1000) In diesem Modus lässt der UL1000 oder UL1000 Fab das Ventil V1a im "ULTRA" Modus offen, um die Pumpgeschwindigkeit am Einlass zu erhöhen. Das hilft die Abpumpzeit zu verringern, wenn größere Prüfobjekte geprüft werden.

  • Seite 68: Maschinenfaktor

    Siehe auch "Numerische Eingaben [} 43]" für eine Beschreibung der Eingabe. Der Maschinenfaktor kann abgeschätzt werden, unter Berücksichtigung der He- Saugvermögen vom UL1000 und UL1000 Fab und der externen Pumpe. Genauer ist die Messung der Leckrate eines externen Testlecks auf dem Prüfobjekt - einmal mit und einmal ohne zugeschalteter externer Pumpe.

  • Seite 69: Trigger Level

    INFICON Beschreibung der Menüs | 6 Abb. 27: Messzeit, Minimal- und Maximalwert Beispiele für Zeiteinstellungen (die INFICON Testkammer wird mit einem Volumen von 430 cm benutzt): Reichweite der Rückweisleckrate Messzeit 10E-5 2 s 10E-6 2 s 10E-7 2 s 10E-8 > 5 s 10E-9 > 10 s* * externe Kalibrierung mit einem 10E-9 Testleck (z. B. TL 9) wird erbeten.

  • Seite 70: Referenzmessung

    3 Mal leergepumpt und belüftet. Die Referenzmessung beinhaltet einen Kalibrierablauf mit dem internen Testleck TL des UL1000. Nach der Säuberung wird der aktuelle Heliumuntergrund gemessen und von den Ergebnissen der folgenden Messungen abgezogen. Die neuen Werte des gemessenen Untergrundes werden automatisch gespeichert:...

  • Seite 71: Zero & Untergrund

    Beschreibung der Menüs | 6 6.6.2 Zero & Untergrund • Hauptmenü > Einstellungen > Zero & Untergrund (siehe auch "Hauptmenü [} 51]" und "Einstellungen [} 65]") Die Untergrundunterdrückung innerhalb des UL1000 und UL1000 Fab sowie die Charakteristik der ZERO-Funktionen können hier angewählt werden. "Taste Nr. 3": Untergrundunterdrückung (siehe auch "Untergrundunterdrückung [} 71]") "Taste Nr. 7": ZERO...

  • Seite 72: Masse

    • Hauptmenü > Einstellungen > Masse (siehe auch "Hauptmenü [} 51]" und "Einstellungen [} 65]") Hier kann die Masse des jeweils verwendeten Prüfgases eingegeben werden. Dazu muss sich der UL1000 oder UL1000 Fab in Standby befinden. "Taste Nr. 2": H (2 amu) Wasserstoff mit einer Masse von 2 amu wird gemessen.

  • Seite 73: Steuerungsort

    Der UL1000 oder UL1000 Fab kann über Digitaleingang, RS232-Schnittstelle und Tastatur bedient werden. "Taste Nr. 5": Lokal & SPS Der UL1000 oder UL1000 Fab wird sowohl über die START-, STOP- und ZERO- Tasten am Gerät als auch über die Digitaleingänge gesteuert. "Taste Nr. 6": Lokal & RS232 Der UL1000 oder UL1000 Fab wird sowohl über die START-, STOP- und ZERO-...

  • Seite 74: Schreiberausgang

    Erlaubt bei Anschluss eines PCs and die Steuerung, Auslesen von Messwerten über das Softwarepaket "Leak Ware" (Betrieb der Leak Ware siehe dazugehörige Gebrauchsanweisung). Die Kalibrierfunktion der Leak Ware ist nicht zum Betrieb mit dem UL1000 und UL1000 Fab geeignet. Bitte in der Betriebsart "Single Part Measurement" die Funktion "STORE DATE"...

  • Seite 75: Skalierung Schreiberausgang

    10 Volt/Dekade, wobei der Gesamtbereich 10 V umfasst (nur für "LRlog"). "Taste Nr. 6": Pfeil auf Dekade des oberen Grenzwerts einstellen. "Taste Nr. 7": Pfeil auf Skalierung des vorher eingestellten Bereichs in Schritten von 0,5, 1, 2, 2,5, 5, 10 Volt/Dekade, wobei der Gesamtbereich 10 V umfasst, (nur für "LRlog"). UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 75 / 115...

  • Seite 76: Protokoll Fernbedienung

    • Hauptmenü > Einstellungen > Diverses > Datum/Uhrzeit (siehe auch "Hauptmenü [} 51]", "Einstellungen [} 65]" und "Diverses [} 76]") In den zwei nachfolgenden Seiten können die Einstellungen für Datum und Zeit geändert werden. Siehe auch "Datum/Uhrzeit [} 76]" für eine Beschreibung der Eingabe. 76 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 77: Sprache

    Netzversorgung eingegeben werden. Die Werkseinstellung ist 50 Hz für 230 V und 60 Hz für 115 V. "Taste Nr. 3": 50 Hz Der UL1000 oder UL1000 Fab wird an einem 50 Hz Netz betrieben. "Taste Nr. 6": 60 Hz Der UL1000 oder UL1000 Fab wird an einem 60 Hz Netz betrieben. UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 78: Serviceintervall Auspuff-Filter

    (siehe auch "Hauptmenü [} 51]", "Einstellungen [} 65]" und "Diverses [} 76]") Der Auspuff-Filter muss regelmäßig gewartet werden, um die ordnungsgemäße Funktion des UL1000 und UL1000 Fab sicherzustellen. Wird diese Meldung aktiviert, erinnert der UL1000 oder UL1000 Fab den Bediener an die fällige Wartung. "Taste Nr. 3": Aus "Taste Nr. 5": ?

  • Seite 79: Laden Eines Parametersatzes

    Die Aufforderung zur Kalibrierung erfolgt. Wenn die Aufforderung zur Kalibrierung eingeschaltet ist, erfolgt eine entsprechende Meldung 30 min nach dem Einschalten oder wenn sich die Temperatur im UL1000 und UL1000 Fab seit der letzten Kalibrierung um mehr als 5 °C verändert hat. Partikelschutz •...

  • Seite 80: Druckgrenzen Für Schnüffelmodus

    Mit dieser Funktion können die werkseitig eingestellten Umschaltpunkte zwischen den Betriebsarten "GROSS"-"FINE"-"ULTRA" verändert werden. Dies kann erforderlich sein, wenn mit dem UL1000 und UL1000 Fab andere Gase als Luft abgepumpt werden. Das Drucksignal der gasartabhängigen Einlassdruckanzeige (Pirani) kann dann entsprechend andere Umschaltwerte der UL1000 und UL1000 Fab Ablaufsteuerung liefern.

  • Seite 81: Info

    Hilfstext "Taste Nr. 6": Heraufsetzen der maximalen Evakuierungszeit bis p1 < 100 mbar ist, maximaler Wert unendlich. "Taste Nr. 7": Heraufsetzen der maximalen Zeitdauer bis Messbereitschaft erreicht ist, maximaler Wert unendlich. 6.7 Info • Hauptmenü > Info (siehe auch "Hauptmenü [} 51]") UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 81 / 115...

  • Seite 82: Service

    Informationen zu den gemessenen internen Daten werden auf 4 Seiten angezeigt. Informationen zur aktuellen Software-Version werden auf Seite 4 angezeigt. "Taste Nr. 4": Vakuumschema Das Vakuumschema des UL1000 oder UL1000 Fab wird angezeigt. Aus diesem Diagramm ist unter anderem ersichtlich, welche Ventile zur Zeit geöffnet bzw. geschlossen sind.

  • Seite 83: Zugang Zur Cal-Funktion

    INFICON Beschreibung der Menüs | 6 Über dieses Menü kann der Zugriff auf gewisse Funktionen des UL1000 und UL1000 Fab beschränkt werden. Abb. 29: Menü zur Benutzerberechtigung "Taste Nr. 2": Zugang zur CAL-Funktion (siehe auch "Zugang zur CAL-Funktion [} 83]") "Taste Nr. 3": Zugriff auf Trigger&Alarme Menü...

  • Seite 84: Menü-Pin Ändern

    Identifikationsnummer (PIN) beschränkt werden. Es erfolgt keine PIN Überprüfung, wenn diese auf "0000" gesetzt wird. Siehe auch "Numerische Eingaben [} 43]" für eine Beschreibung der Eingabe. Sich unter allen Umständen die PINs merken. Nur der INFICON Service ist in der Lage, die PINs zurückzusetzen. 6.8.4 Geräte-PIN ändern •...

  • Seite 85: Kalibrierung

    Heliumsignal abgestimmt, und dieses Signal wird dann auf die bekannte Leckrate des internen oder externen Testlecks bezogen. Obwohl der UL1000 und UL1000 Fab sehr stabil sind, wird dennoch von Zeit zu Zeit eine Kalibrierung empfohlen, um sicherzustellen, dass Änderungen in der Umgebungstemperatur, Verunreinigungen oder andere Einflüsse die Messgenauigkeit nicht beeinträchtigen.

  • Seite 86: Automatische Interne Kalibrierung

    "Automatische interne Kalibrierung [} 86]"). Nach Starten von "Manuelle interne Kalibrierung" pumpt der UL1000 oder UL1000 Fab das Prüfobjekt ab (falls noch nicht evakuiert) und öffnet das interne Testleck. Abhängig vom Prüfobjektvolumen, kann es einige Zeit dauern, bis sich das Heliumsignal stabilisiert. Daher muss der Bediener bestätigen, dass das Signal ein stabiles Niveau erreicht hat (Taste Nr. 8).
  • Seite 87 Kalibrierung | 7 Hier ist keine Aktion erforderlich. Die Balkenanzeige zeigt ein Signal, welches nur wenig schwanken darf. Ist dies der Fall, "OK" (Taste Nr. 8) betätigen. Hier ist keine Aktion erforderlich. Hier ist keine Aktion erforderlich. UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 87 / 115...
  • Seite 88 Die Balkenanzeige zeigt ein Signal, welches sich nicht weiter verringern darf. Kleine Schwankungen sind akzeptabel. Wenn dies der Fall ist, OK (Taste Nr. 8) betätigen. Der UL1000 oder UL1000 Fab zeigt den alten und den neu berechneten Kalibrierfaktor an. 88 / 115...

  • Seite 89: Kalibrierfaktor-Wertebereich

    INFICON Kalibrierung | 7 7.3 Kalibrierfaktor-Wertebereich Um fehlerhafte Kalibrierungen zu vermeiden, kontrolliert der UL1000 oder UL1000 Fab am Ende der Kalibrier-Routine den Kalibrierfaktor auf Plausibilität: Ist der neue Kalibrierfaktor nicht wesentlich größer oder kleiner (< Faktor 2) als der alte Kalibrierfaktor, so wird der neue Kalibrierfaktor automatisch übernommen.

  • Seite 90: Fehler- Und Warnmeldungen

    Warnungen werden angezeigt, • wenn der UL1000 oder UL1000 Fab einen anormalen Zustand feststellt oder • wenn der UL1000 oder UL1000 Fab den Bediener an etwas erinnern möchte (z. B dass eine Kalibrierung erforderlich ist oder dass der Zeitraum zur nächsten Wartung verstrichen ist).

  • Seite 91: Liste Der Fehler- Und Warnmeldungen

    • Sicherung F2 auf dem I/O-Board ist ist zu niedrig defekt. Abgesenkte Ventilspannung • I/O-Board ist defekt zu niedrig (< 7V) Echtzeituhr wurde • Akku auf MC 68 ist entladen bzw. defekt. zurückgesetzt! Bitte Datum • MC 68 wurde getauscht. und Uhrzeit eingeben. UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 91 / 115...
  • Seite 92 24 V Spannung auf MSV-Karte ist zu niedrig, U < 18,3 V. • Sicherung F1 auf der MSV Platine ist durchgebrannt. • 24 V Stromversorgungsspannung fehlt. Den UL1000 oder UL1000 Fab ausschalten! Die fehlende Spannung führt dazu, dass das Auspuffventil der Drehschieberpumpe schließt, was wiederum zu einer Verunreinigung des Vakuumsystems führen kann.
  • Seite 93 Emission der Kathode 1 Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht kann nicht eingeschaltet aktiv. Die Emission für Kathode 1 kann nicht werden. eingeschaltet werden. Der UL1000 oder UL1000 Fab schaltet auf Kathode 2. Neue Ionenquelle bestellen. Emission der Kathode 2 Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht kann nicht eingeschaltet aktiv.
  • Seite 94 Druck unter einen Minimalwert fällt, ist der Durchfluss durch die Kapillare zu gering (Verschmutzung) oder die Kapillare ist blockiert (Fremdkörper, Partikel). Der Minimalwert kann über das Menü eingestellt werden. Die Werkseinstellung ist 0,1 mbar, siehe auch "Überwachung [} 79]". 94 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)
  • Seite 95 Die Werkseinstellung ist 1,0 mbar, siehe auch "Überwachung [} 79]". Emission aus (P zu hoch) PV >> 0.2 oder 3 mbar wegen Lufteinbruch, d. h. der UL1000 oder UL1000 Fab wird versuchen, wieder in den Messmodus zu gelangen. Maximale • Prüfobjekt hat ein Grobleck. "Evakuierungszeit"...
  • Seite 96 • Falls die Warnung nach dem Wiedereinschalten erneut auftritt, so ist vermutlich das EEPROM auf Verdrahtungsebene defekt. AC/DC Faktor zu klein Kalibrierbedingungen nicht eingehalten Leckrateneingabe Testleck falsch Testleck defekt AC/DC Faktor zu hoch Kalibrierbedingungen nicht eingehalten Leckrateneingabe Testleck falsch Testleck defekt 96 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 97: Wartungsarbeiten

    Der Abschluss eines Wartungsvertrages zu diesem Gerät wird empfohlen. Das Erreichen eines der Wartungsintervalle, wird auf der Anzeige des Lecksuchers UL1000 / UL1000 Fab, nach jedem Einschalten als Warnung angezeigt. Wird diese Meldung ignoriert, erscheint sie als Warndreieck in der Statuszeile vom Display, bis das Wartungsintervall quittiert wurde.

  • Seite 98: Legende Zum Wartungsplan

    Die Ölwechselintervalle für das Öl der Vorpumpe D16 B sind Empfehlungen und können je nach Einsatz des Lecksuchers variieren. Die Pumpe wurde für ihren Einsatz im Lecksucher UL1000 mit Arctic Öl spezifiziert und darf deshalb nur mit Arctic Öl befüllt werden (Kat.-Nr. 20099091). Bei Verwendung einer abweichenden Ölsorte muss seitens der INFICON Gmbh Köln...

  • Seite 99: Wartungsplan

    9.4 Wartungsplan Baugruppe Wartungsarbeiten Betriebsstunden/Jahre Servicestufe Ersatzteil Nr. 1500 4000 8000 16000 24000 UL1000 / UL1000 Fab Vakuumsystem Vorpumpe D16 B Ölstand kontrollieren, ggf. wechseln I, II Öl wechseln 20099091 Vorpumpe überholen Scrollpumpe Agilent Tip-Seal austauschen 200001671 TS 620 Scrollkopf austauschen 200001665R SplitFlow 80...

  • Seite 100: Wartungsgruppen

    Wartungsmaßnahmen hinausgehen, dürfen nur durch geschultes Fachpersonal ausgeführt werden. 9.5.3 Gerät zu Wartungszwecken öffnen GEFAHR Gefahr durch Stromschlag Vor dem Entfernen einer der Abdeckhauben vom UL1000 / UL1000 Fab ist der Lecksucher vom Netz zu trennen! Benötigtes Werkszeug Seitenwandtrenner aus Zubehör 100 / 115...

  • Seite 101: Luftfiltereinsatz Prüfen Und Austauschen

    9.6 Luftfiltereinsatz prüfen und austauschen GEFAHR Gefahr durch Stromschlag Vor dem Entfernen einer der Abdeckhauben vom UL1000 / UL1000 Fab ist der Lecksucher vom Netz zu trennen! Der Verschmutzungsgrad des Luftfiltereinsatzes vor den Lüftern sollte alle 3 Monate überprüft werden (unter erschwerten Bedingungen, monatlich). Verschmutzte Filtereinsätze sind auszutauschen, da hiermit die Kühlleistung für die Turbopumpe...

  • Seite 102: Benötigtes Material

    Sie ist durch einen schwarzen Pfeil dargestellt. Hinweis: Die mit "clean air side" bezeichnete oder weiße Oberfläche des Filtereinsatzes muss in Richtung der Lüfter weisen. • Filtereinsatz in Führung einschieben und Abdeckhauben wieder einsetzen. Zum Verschließen des Gerätes Abdeckhauben einsetzen und andrücken. 102 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 103: Auspuff-Schalldämpfer Ersetzen

    Abb. 32: Schalldämpfer austauschen Schalldämpfer Reduzierstück Adapter für Schalldämpfer Zentrierring DN 25 O-Ring 20 x 3 Spannring Clip 9.8 Auspuff Filter kontrollieren/entleeren GEFAHR Gefahr durch Stromschlag Vor dem Entfernen einer der Abdeckhauben vom UL1000 / UL1000 Fab ist der Lecksucher vom Netz zu trennen! UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 103 / 115...

  • Seite 104: Filtereinsatz Ersetzen

    • Sechskantschraube wieder eindrehen und anziehen. • Ölstand der Drehschieberpumpe D16 B überprüfen und ggf. nachfüllen. 9.8.1 Filtereinsatz ersetzen Benötigtes Werkzeug Seitenwandtrenner aus Zubehör Benötigtes Material Ersatzfiltereinsatz: P/N 200 000 694 (10 Stck.) Die Einbauposition des Auspuff-Filters entnehmen sie nachstehender Abbildung. 104 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)
  • Seite 105 Filter in Pfeilrichtung soweit nach aussen, das der Ölvorratsbehälter abgenommen werden kann. Den Ölvorratsbehälter entgegen dem Uhrzeigersinn herausdrehen und entleeren. Öl gemäß den örtlichen Vorschriften entsprechend entsorgen. Vorratsbehälter mit sauberen Tuch reinigen. Filterhalteschraube von Hand lösen, Filtereinsatz herausnehmen und ordnungsgemäß entsorgen. UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 105 / 115...

  • Seite 106: Ölstand D16B Überwachen, Ergänzen

    9.9 Ölstand D16B überwachen, ergänzen GEFAHR Gefahr durch Stromschlag Vor dem Entfernen einer der Abdeckhauben vom UL1000 / UL1000 Fab ist der Lecksucher vom Netz zu trennen! Öl nur bei abgeschalteter Pumpe kontrollieren und nachfüllen! Als vorbeugende Maßnahme wird empfohlen, den Ölstand und die Verfärbung des Pumpenöls monatlich zu überwachen.
  • Seite 107 Ölverfärbung visuell kontrolliert werden. Der Ölstand der Vakuumpumpe muss innerhalb der Min- und Max. Markierungen liegen. Abb. 35: Ölwechsel D16 B Öleinfüllbohrung Ölschauglas Ölablaßschraube Ölstandsmarke Minimum Ölstandsmarke Maximum Falls das Ölniveau unter der Minimummarke liegt, Öl ergänzen, siehe auch  "Ölwechsel D16B [} 108]". UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 107 / 115...

  • Seite 108: Ölwechsel D16B

    Ölablaßschraube wieder einschrauben. Dichtung prüfen, ggf. auswechseln. Ölablaßschlauch mit Kabelbinder erneut befestigen. Öleinfüllschraube (siehe auch "Ölstand D16B überwachen, ergänzen [} 106]") aus der Öleinfüllbohrung herausdrehen und frisches Öl bis auf max. Stand auffüllen. Die max. Öleinfüllmenge beträgt 0,8 l. Öleinfüllschraube wieder einschrauben und festziehen. 108 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 109: Scrollpumpe

    Wartungsarbeiten | 9 9.11 Scrollpumpe Die Wartungsintervalle der Scrollpumpe (Agilent TS620) entnehmen Sie dem Wartungsplan, siehe auch "Wartungsplan [} 99]". Die Wartung der Scrollpumpe sollte ausschließlich durch den INFICON Service oder einem von INFICON autorisierten Servicepartner durchgeführt werden. UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 109 / 115...

  • Seite 110: Ce-Konformitätserklärung

    10 | CE-Konformitätserklärung INFICON 10 CE-Konformitätserklärung 110 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

  • Seite 111: Rohs

    INFICON RoHS | 11 11 RoHS UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 111 / 115...
  • Seite 112 12 | Diagramm INFICON 12 Diagramm 112 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)
  • Seite 113  44 Qmax  41 QT 100  46 Helium Leckrate  15 Hochlauf  47 Relaisausgang  61 Hochlaufzeit  15 RS232  25, 29 I•CAL  77 Saugvermögen  15 Informationen  82 Schalldruckpegel  16 Installation  20 Schallleistungspegel  16 Ionenquelle  15, 38 Schnüffelleitung  37, 46 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508) 113 / 115...
  • Seite 114 Trend Modus  50 Trigger  49 Triggeralarm  63 Turbomolekularpumpe  38 Turbopumpe  44 ULTRA  44 Umgebungstemperatur  16 Untergrund  56 Vakuum-Diagramm  38 Vakuummodus  15 Ventile  16 Verseuchungsschutz  80 Verwendungszweck  12 Vorvakuumpumpe  9, 94 Zeitachse  50 ZERO Taste  41 Zubehör  25 114 / 115 UL1000-Fab-Betriebsanleitung-iina70de1-18-(2508)

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