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Funktionsprinzip, Technische Daten
2.4
Technische Daten confocalDT IFD2410/2415
Modell
Messbereich
Abstand
Mindestdicke
Messbereichs-
anfang
Auflösung
statisch
dynamisch
Messrate
Weg- und Ab-
3
Linearität
standsmessung
Dickenmessung
Mehrschichtmessung
Lichtquelle
Zulässiges Fremdlicht
4
Lichtpunktdurchmesser
5
Messwinkel
Numerische Apertur (NA)
Messobjektmaterial
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Signaleingang
Digitale Schnittstelle
Analogausgang
Schaltausgang
Digitalausgang
Anschluss
Montage
Lagerung
Temperaturbe-
reich
Schock (DIN EN 60068-2-27)
Vibration (DIN EN 60068-2-6)
Schutzart
(DIN EN 60529)
Controller
Material
Gewicht
Bedien- und Anzeigeelemente
Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (24 ±2 °C)
1) Gemittelt über 512 Werte, bei 1 kHz, in Messbereichsmitte auf Prüfglas
2) RMS Rauschen bezogen auf Messbereichsmitte (1 kHz)
3) Maximale Abweichung zu Referenzsystem über den gesamten Messbereich, gemessen auf Vorderfläche ND-Filter
4) In Messbereichsmitte
5) Maximale Verkippung des Sensors, bis zu der auf einem polierten Glas (n = 1,5) in der Messbereichsmitte ein verwertbares Signal
erzielt werden kann, wobei die Genauigkeit zu den Grenzwerten abnimmt
confocalDT IFD2410/2411/2415
IFD2410-1
1,0 mm
0,05 mm
ca.
ca. 15 mm
1
< 12 nm
2
< 50 nm
stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 8 kHz
< ±0,5 µm
< ±1,0 µm
12 µm
±25°
0,45
Spiegelnde, diffuse sowie transparente Oberflächen (z.B. Glas)
<5,3 W (24 V)
2 x HTL/TTL Multifunktionseingang: Trigger in, Slave in, Nullsetzen, Mastern, Teachen;
1 x RS422 Synchronisationseingang: Trigger in, Sync in, Master/Slave, Master/Slave alternierend
12 pol. M12 Stecker für Versorgung, Encoder, EtherCAT, RS422 und Synchronisation
Radialklemmung, Gewindebohrungen, Montageadapter (siehe Kapitel Zubehör)
Betrieb
Sensor
ca.
490 g
zwei einstellbare Funktionen sowie Reset auf Werkseinstellung nach 10 s;
IFD2410-3
IFD2410-6
3,0 mm
6,0 mm
0,15 mm
0,3 mm
ca. 25 mm
ca. 35 mm
< 36 nm
< 80 nm
< 125 nm
< 250 nm
< ±1,5 µm
< ±3,0 µm
< ±3,0 µm
< ±6,0 µm
-
interne weiße LED
30.000 lx
18 µm
24 µm
±19°
±10°
0,35
0,18
24 VDC ±10 %
2 x Encoder (A+, A-, B+, B-, Index)
EtherCAT / RS422 / (Ethernet für Konfiguration)
4 ... 20 mA / 0 ... 5 V / 0 ... 10 V (16 bit D/A Wandler)
Fehler1-Out, Fehler2-Out
Sync out
17 pol. M12 Stecker für I/O Analog und Encoder
optionale Verlängerung auf 3 m / 6 m / 9 m / 15 m möglich
(passende Anschlusskabel siehe Kapitel Zubehör)
-20 ... +70 °C
+5 ... +50 °C
15 g / 6 ms in XY-Achse, je 1000 Schocks
2 g / 20 ... 500 Hz in XY-Achse, je 10 Zyklen
IP64, frontseitig
Aluminiumgehäuse, passiv gekühlt
490 g
490 g
Correct Taste: Schnittstellenauswahl,
4x Farb-LED für Intensity, Range, RUN und ERR
IFD2415-1
IFD2415-3
1,0 mm
3,0 mm
0,05 mm
0,15 mm
ca. 10 mm
ca. 20 mm
< 8 nm
< 15 nm
< 38 nm
< 80 nm
stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 25 kHz
< ±0,25 µm
< ±0,75 µm
< ±0,5 µm
< ±1,5 µm
bis zu 5 Schichten
8 µm
9 µm
±30°
±24°
0,55
0,45
<7 W (24 V)
IP65
500 g
600 g
IFD2415-10
10,0 mm
0,5 mm
ca. 50 mm
< 36 nm
< 204 nm
< ±2,5 µm
< ±5,0 µm
16 µm
±17°
0,3
800 g
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