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Funktionsprinzip, Technische Daten
Aufgrund der hervorragenden Auflösung und des geringen Lichtfleckdurchmessers können Oberflächenstrukturen
gemessen werden. Zu beachten ist jedoch, dass Messwertabweichungen auftreten können, sobald die Struktur in der
Größenordnung des Lichtfleckdurchmessers liegt oder die zulässige Verkippung, zum Beispiel an Rillenflanken, über-
schritten wird.
2.3
Begriffsdefinition, Glossar
MBA
Messbereichsanfang. Für den Sensor muss ein Messbereichsanfang (MBA) zum Messobjekt eingehalten wer-
den. Minimaler Abstand zwischen Sensorstirnfläche und Messobjekt
MBM Messbereichsmitte
MBE
Messbereichsende (Messbereichsanfang + Messbereich)
Maximaler Abstand zwischen Sensorstirnfläche und Messobjekt
MB
Messbereich
Sensor
Abb. 1 Messbereich und Ausgangssignal Messsystem
Minimale Messobjektdicke
Maximale Messobjektdicke Sensormessbereich x Brechungsindex Messobjekt
confocalDT IFD2410/2411/2415
100 %
50
0
MBA
MBM
Mess-
MBA
Messobjekt
siehe Kapitel Technische Daten
Weg
MBE
bereich (MB)
Seite 12
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