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Beschreibung; Funktion - INFICON Pernicka 700H CHLD Originalbetriebsanleitung

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4 | Beschreibung

4 Beschreibung

4.1 Funktion

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Das Gerät ist ein Dichtheitsprüfgerät zum Erkennen und Messen von Lecks in
versiegelten Prüfobjekten.
Beschreibung des Messprozesses
Das Gerät befindet sich vor Beginn des Messprozesses in der Betriebsart "Standby".
Die Prüfkammer zur Aufnahme des mit dem Prüfgas, z. B. Helium, gefüllten
Prüfobjekts befindet sich mittig vor der Ablage des Geräts. Legen Sie das Prüfobjekt
ein und schließen Sie den Deckel der Prüfkammer. Starten Sie den Messprozess.
Abb. 2: Prüfkammer: Deckel geöffnet (links) und Deckel geschlossen (rechts)
Während des automatisch ablaufenden Messprozesses werden zunächst das innere
Volumen der Prüfkammer und das Volumen zwischen den zwei Dichtungsringen auf
der Oberseite der Prüfkammer mit Spülgas, vorzugsweise mit Argon 5.0, gespült.
Nach dem beendeten Spülvorgang wird das Spülgas aus der Prüfkammer, aus dem
Volumen zwischen den 2 Dichtungsringen sowie aus dem Ventilblock abgepumpt.
Nach dem Prüfen des zulässigen Drucks für den Betrieb des Massenspektrometers
(CHLD-Sensor) wird zunächst der Ventilblock evakuiert. Anschließend wird der CHLD-
Sensor eingeschaltet. Vor dem Öffnen des Ventils zur Prüfkammer wird der CHLD-
Sensor wieder ausgeschaltet. Bei ausreichend geringem Druck (vor allem muss der
Deckel der Prüfkammer geschlossen sein), wird der CHLD-Sensor eingeschaltet.
Der Grobleck-Test wird gestartet. Angezeigt wird beim Grobleck-Test der Strom des
Helium-Rohsignals in der Maßeinheit [A]. Als Abbruchkriterium für diesen
Messvorgang dient ein vor Messbeginn eingestellter Schwellenwert (siehe
"Schwellenwert für Grobleck-Test einstellen [} 67]"). Überschreitet das Heliumsignal
diesen Schwellenwert, wird nach dem Grobleck-Test kein Feinleck-Test durchgeführt
Deckel
Prüf-
kammer
Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)
INFICON

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