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6 | Betrieb
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Menüpunkt
Fluss
Totaldruck
Zeit seit Power ON
Betriebsstunden
Seriennummer
Softwareversion
Elektronik Temp.
TSP Temperatur
Kalibrierlecktemperatur
Seite 2: Daten der Turbomolekularpumpe
Zustand
Akt. Fehlercode
Drehzahl
Strom
Spannung
Antriebsleistung
Betriebsstunden der TMP
Betriebsstunden TC
Hochlaufzeit
Softwareversion
Seite 3: Daten des Transpectors
Konfiguration
Box version
Control SW version
Measure SW version
Filament
Power on time
Emission on time A
Emission on time B
Serial number box
Format
sccm
mbar
Min
h
9000 XXX XXXX
x.xx.xx
°C / °F
°C / °F
°C / °F
An / Aus / Hochlauf
Hz
A
V
W
h
h
s
xxxxxx
x.xx
x.xx
x.xx
A oder B/A oder B
h
h
h
Ecotec-E3000-Betriebsanleitung-kina22de1-28-(2211)
INFICON
Beschreibung
Fluss durch die
Schnüffelleitung
Druck im
Massenspektrometer
Temperatur der CPU-Karte
Temperatur des
Massenspektrometers
Temperatur des ECO-
Check
Betriebsstunden der
Turbomolekularpumpe
Betriebsstunden des
Frequenzwandlers für TMP
Eingestellte Kathode/aktive
Kathode
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