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INFICON
Gas
Formel
Andere
Bezeichnung
NH
3
O
2
SF
6
Xe
ZT130
Tab. 11: Gasbibliothek
Ecotec-E3000-Betriebsanleitung-kina22de1-28-(2211)
Messposition
(xxx amu)
R717
17
Oxygen
32
127
Xenon
129
132
Galden
100
ZT130
117
119
69
135
Molekülmasse
Fragmen-
tierungs-
(xxx.x amu)
faktor
17
1,00
32
1,00
146,1
0,80
131,3
1,00
1,00
497
0,25
0,32
1,00
0,50
0,12
Anhang | 10
Normali-
Viskosität
sierungs-
faktor
(x.xExx)
7,00E+07
0,505
7,00E+07
1,030
9,10E+07
0,765
1,20E+08
1,153
7,00E+07
1,000
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