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7 | Warn-und Fehlermeldungen
Nr.
Meldung
W77
Veränderter
Kalibrierfaktor!
(Kann gemeldet
werden, während die
Kalibrierung getestet
wird.)
W78
Signaldifferenz
zwischen Testleck und
Luft ist zu klein. (1.25
bei R134a)
W79
Faktor außerhalb des
Bereiches!
W80
Kathode umgeschaltet! Das Gerät wurde ohne Kalibrierung
W81
Kalibrierungsfaktor zu
klein!
E94
Fehler in der TC-
Steuereinheit (E015)
E95
Antriebselektronik
erkennt Pumpe nicht.
(E021)
72 / 108
Mögliche Fehlerquellen
Die Kalibrierung hat sich um mehr als
15% seit der letzten Kalibrierung
geändert.
Das Kalibrierleck ist zu klein.
Das Kalibrierleck ist defekt.
Das Untergrundsignal während der
Kalibrierung ist zu hoch.
Während der IGS-Kalibrierung wurde
ein ungültiger Faktor festgestellt.
auf eine andere Kathode umgestellt.
Der Kalibrierungsfaktor wurde
während der internen Kalibrierung mit
< 0,1 oder während der externen
Kalibrierung mit < 0,01 ermittelt.
Es wurde nicht richtig kalibriert.
Die Leckrate der Kalibrierlecks ist
nicht korrekt (insbesondere während
der externen Kalibrierung).
Defekte Turbomolekularpumpen-
Steuerung.
Fehler in der Kommunikation
zwischen der Turbomolekularpumpe
und der Steuerung.
Störbeseitigung
Kalibrieren Sie das Gerät neu, siehe
Kalibrieren [} 44].
Prüfen Sie die Leckrate des
Kalibrierlecks oder benutzen Sie ein
Kalibrierleck mit höherer Leckrate.
Überprüfen Sie das
Untergrundsignal, indem Sie die
ZERO-Funktion ausschalten (ZERO-
Taste länger als 2 s drücken).
Kalibrieren Sie das Gerät neu, siehe
Kalibrieren [} 44].
Wiederholen Sie die IGS-
Kalibrierung, siehe Störende Gase
unterdrücken [} 49].
Kalibrieren Sie das Gerät neu, siehe
Kalibrieren [} 44].
Überprüfen Sie die Eingabe für die
Leckrate, siehe Kalibrieren [} 44].
Kalibrieren Sie das Gerät neu, siehe
Kalibrieren [} 44].
Tauschen Sie das externe
Kalibrierleck aus.
Schalten Sie das Gerät aus. Warten
Sie, bis die Pumpe zum Stillstand
gekommen ist (> 5 min). Schalten Sie
das Gerät wieder ein.
Wenden Sie sich an den INFICON-
Kundendienst.
Wenden Sie sich an den INFICON-
Kundendienst.
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