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INFICON
Nr.
Meldung
E42
Transpector-
Temperatur > 70 °C
oder < 0 °C!
E43
Transpector-Grenzwert
überschritten!
E44
Transpector-Grenzwert
überschritten!
E45
Transpector-Grenzwert
überschritten!
E46
Transpector-Grenzwert
überschritten!
E47
Transpector-
Überdruck!
E48
"Emission ausgefallen
(Die Emission ist
während des Betriebes
ausgefallen.)
W49
Keine Emission mit der
ersten Kathode
E50
Steuerung
Turbopumpe oder
Elektronik!
E51
Keine Kommunikation
mit dem
Turbocontroller!
W57
Zu viele EEPROM
Schreib-zyklen!
Ecotec-E3000-Betriebsanleitung-kina22de1-28-(2211)
Mögliche Fehlerquellen
Der Hauptluftfilter ist verschmutzt.
Bestätigen Sie die Arbeit, siehe
Wartungsinformationen aufrufen und
verwalten [} 74].
Interner Transpector-Datenfehler
Interner Transpector-Datenfehler
Interner Transpector-Datenfehler
Interner Transpector-Datenfehler
Wenn das Gerät längere Zeit
ausgeschaltet war, kann dieser
Fehler in den ersten 10 Minuten nach
dem Einschalten auftreten.
Die Schnüffelleitung ist nicht
angeschlossen.
Der Vordruck ist zu hoch.
Der Transpector ist defekt.
Das Einschalten der Emission ist
fehlgeschlagen. Das Gerät hat auf
die zweite Kathode umgeschaltet.
Es liegt ein Fehler in der Steuerung
der Turbomolekularpumpe vor.
Verdrahtungsebene defekt
CPU-Karte MC50 defekt
Ständiger Wechsel der Gas-
Konfiguration oder des I*Guide-
Programms über Schnittstelle.
Warn-und Fehlermeldungen | 7
Störbeseitigung
Reinigen oder ersetzen Sie den
Filter, siehe Filtereinsätze des
Kapillarfilters und der Wasserschutz-
Spitze wechseln [} 84].
Beachten Sie die
Umgebungsbedingungen, siehe
Technische Daten [} 17].
Wenden Sie sich an den INFICON-
Kundendienst.
Wenden Sie sich an den INFICON-
Kundendienst.
Wenden Sie sich an den INFICON-
Kundendienst.
Wenden Sie sich an den INFICON-
Kundendienst.
Bestätigen Sie die Fehlermeldung
und starten Sie das Gerät neu. Wenn
das Problem bestehen bleibt:
Wenden Sie sich an den INFICON-
Kundendienst.
Schließen Sie die Schnüffelleitung an
und bestätigen Sie die
Fehlermeldung. Starten Sie das
Gerät neu.
Bestätigen Sie die Fehlermeldung
und starten Sie das Gerät neu. Wenn
das Problem bestehen bleibt:
Wenden Sie sich an den INFICON-
Kundendienst.
Sie können weitermessen, aber
lassen Sie die Kathoden überprüfen.
Wenden Sie sich an den INFICON-
Kundendienst.
Wenden Sie sich an den INFICON-
Kundendienst.
Verwenden Sie die alternativen
Befehle. (z.B. BEF749 anstelle von
BEF750)
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