Betriebsarten; Systemaufbau, Anschlussmöglichkeiten - MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Benutzerhandbuch

Betriebsarten

Betriebsarten
Das Messsystem interferoMETER misst hochpräzise
- Abstände gegen optisch dichte Materialien mit diffu-
sen oder spiegelnden Oberflächen
- Dicken bei transparenten Schicht-Materialien.
Die Auswahl der Betriebsart Abstands- oder Dickenmes-
sung erfolgt durch die Wahl des Sensors. Das Ergebnis
einer Messung ist entsprechend ein Abstands- oder
Dickenwert.
Abstandsmessung Dickenmessung
Messbereich 2,1 mm
Messbereiche bei Abstands- und Dickenmessung
Die mögliche Auflösung liegt dabei im Nanometerbe-
reich.
Für einen Schnelleinstieg empfiehlt sich die Verwen-
dung von gespeicherten Konfigurationen (Presets) für
verschiedene Messobjektoberflächen und Anwendun-
gen, siehe Betriebsanleitung Kap. 6.6.
1) Messbereich bei n=1,5; bei Luftspaltmessung
zwischen zwei Glasplatten (n~1) beträgt der Mess-
bereich 0,05 ... 2,1 mm. Das Messobjekt muss sich
innerhalb des Arbeitsabstandes befinden.
IMS5x00
35 µm ... 1,4 mm 1
Systemaufbau, Anschlussmöglichkeiten
Verbinden Sie die Komponenten miteinander, bau-
en Sie die Sensoren in die Halterungen ein.
Patchkabel 2x RJ45
Controller
Patchkabel 2x RJ45
PS 2020
SC2471-x/RS422/OE
IF2001/USB
Eine ausführlichere Darstellung der Anschlussmöglich-
keiten finden Sie in der Betriebsanleitung.
2-Port
Switch /
EtherCAT-
Hub
Abzweigung
Run
X1
X2
IPC
SPS
Sensor
USB
IPC
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