MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Benutzerhandbuch Seite 20

Inbetriebnahme
Beispiel für zwei Schichten gleicher Dicke; Messpeak-Sortierung: Erster, zugehörige Materialauswahl
Dicke
IMP-TH
PC
Peak 2
PC
0 20 40
Peak 1 ist doppelt vorhanden, weil die zwei
gleich dicken Schichten in einem Peak abgebil-
det werden.
Schicht 2 ist die Materialauswahl für die Kombi-
2
nationsschicht von Peak 2.
2) Die Controller IMS5400-TH45/MP und
IMS5400-TH70/MP werten auch kombinierte
Dicken der verschiedenen Schichten aus.
IMS5x00
Peak 1
Peak 1
Bereich [%] 60 80
Abstand
MBA
Peak B
MBE
0 20
100
i
1) Bei einer Abstandsmessung auf transparente
Objekte werden neben den Abstandspeaks
auch Dickenpeaks angezeigt, der Controller
wertet diese aber nicht aus. Der Übersichtlich-
keit wegen sind Dickenpeaks mit Buchstaben
gekennzeichnet.
IMP-DS
Peak 1
PC
Peak 2
PC
Peak 3
40 Bereich [%] 60
Eine Dickenbestimmung aus den Abstän-
den ist auch mit den Rechenfunktionen
Dicke und Berechnung möglich, siehe
Betriebsanleitung Kap. 7.3.
1
Peak A
Peak A
80 100
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