MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Benutzerhandbuch Seite 15

Inbetriebnahme
Jeder Peak steht für einen Dickenwert. Die Peaks werden
beginnend bei Messbereichsanfang (für die dünnste Schicht)
Richtung Messbereichsende (für die dickste Schicht) gezählt.
Auch kombinierte Dicken benachbarter Schichten werden
ausgewertet.
Die Materialauswahl für eine Dickenmessung startet mit der
dünnsten Schicht (Schicht 1) unabhängig von der physikali-
schen Anordnung im Messobjekt, siehe Kap. Materialauswahl.
Peak 5
Peak 3
0 20
Bereich [%]
Ab dem ersten Peak wird ausgewertet, z. B. 3 von 4 Peaks
IMS5x00
Controller IMC5400/MP , IMC5600/MP
Dicke
Peak 4
Schicht 3
Peak 1
Schicht 1
Peak 2
Schicht 2
Peak 6
40 60
Jeder erkannte Peak steht für einen Abstandswert. Die Peaks
werden beginnend bei Messbereichsanfang (kleinen Abstand
zwischen Sensor und Messobjekt) in Richtung Messbereichs-
ende (großer Abstand zwischen Sensor und Messobjekt)
gezählt.
Schicht 1
Schicht 2
Schicht 3
80 0 20
Abstand
Peak 1
Peak A
Peak 2
Peak 3
Peak B
Peak 4
1
40 60
Bereich [%]
1
80
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