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Betriebsarten
Betriebsarten
Das Messsystem interferoMETER misst hochpräzise
- Abstände gegen optisch dichte Materialien mit diffu-
sen oder spiegelnden Oberflächen
- Dicken bei transparenten Schicht-Materialien.
Die Auswahl der Betriebsart Abstands- oder Dickenmes-
sung erfolgt durch die Wahl des Sensors. Das Ergebnis
einer Messung ist entsprechend ein Abstands- oder
Dickenwert.
Abstandsmessung Dickenmessung
Messbereich 2,1 mm
Messbreiche bei Abstands- und Dickenmessung
Die mögliche Auflösung liegt dabei im Nanometerbe-
reich.
Für einen Schnelleinstieg empfiehlt sich die Verwen-
dung von gespeicherten Konfigurationen (Presets) für
verschiedene Messobjektoberflächen und Anwendun-
gen, siehe Betriebsanleitung Kap. 6.6.
1) Messbereich bei n=1,5; bei Luftspaltmessung
zwischen zwei Glasplatten (n~1) beträgt der Mess-
bereich 0,05 ... 2,1 mm. Das Messobjekt muss sich
innerhalb des Arbeitsabstandes befinden.
IMS5x00
35 µm ... 1,4 mm
1
Systemaufbau, Anschlussmöglichkeiten
Verbinden Sie die Komponenten miteinander, bau-
en Sie die Sensoren in die Halterungen ein.
Patchkabel
Run
Ethernet
X1
EtherCAT
X2
2-Port
EtherCAT-
Abzweigung
SC2471-x/RS422/OE
IF2001/USB
Controller
PC
Sensor
PS2020
N
L
PE
PS 2020
230 VAC
SC2471-x/IF2008
IF2008/PCIE
Seite 6
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