Wartung und Pflege
10.4.3 Extraktionslinsen reinigen
Extraktionslinsen
ausbauen
Extraktionslinsen
reinigen und einbauen
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Extraktionslinse 1 und 2 sind die ersten Teile der Ionenoptik. Sie befinden sich hinter
dem Skimmer-Konus und leiten den Ionenstrahl durch das Gate Valve in die zweite
Stufe des Vakuumsystems.
Die erste Extraktionslinse wird sichtbar, wenn der Skimmer-Konus ausgebaut wurde.
Die zweite Linse befindet sich hinter Extraktionslinse 1. Die beiden Extraktionslinsen
können mit dem bereitgestellten Linsenwerkzeug leicht ausgebaut werden.
Bild 63
Extraktionslinsen 1 + 2 und Linsenwerkzeug
1. Die Oberflächen der Linsen mit einer Paste aus Analytik Jena Reinigungspulver
oder feinem Schleifpapier, z. B. Körnung 800, reinigen.
2. Die Linsen mit Wasser abspülen.
3. Die Linsen zehn Minuten lang in einer 10 %igen Lösung aus ätzendem
Reinigungsmittel und Wasser im Ultraschallbad reinigen.
PlasmaQuant MS Produktfamilie
1. Das Linsenwerkzeug in die beiden
Aussparungen an der Extraktionslinse 1
einführen.
2. Das Werkzeug im Uhrzeigersinn oder
gegen den Uhrzeigersinn drehen, um die
Extraktionslinse aus der Interface-
Baugruppe herauszunehmen.
3. Das Haltewerkzeug in die beiden
Aussparungen an der zweiten
Extraktionslinse einführen.
4. Das Werkzeug im Uhrzeigersinn oder
gegen den Uhrzeigersinn drehen, um die
Extraktionslinse aus der Interface-
Baugruppe herauszunehmen.