INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 94

XTC/3 Gebrauchsanleitung
DELAY OPTION. . . . . . . . . . . . . . . . Verzögerung........None-Keine, Shutter
Jede Betätigung der TOGL Taste bringt eine Option auf. Der Standardwert ist
"None" für keine Verzögerung.
Shutter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Blendenverzögerung Status. Status beginnt
Control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Regelverzögerung Status. Der Deposit
Both . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Beide. Gerät geht zuerst in den
TRANSFER SENSOR . . . . . . . . . . . Sensor Übergabe.........Yes-Ja / No-Nein
Die TOGL Taste geht durch die Auswahl. Standardwert ist No. Diese Funktion ist
nur möglich wenn die Delay-Verzögerung Option auf "Shutter Delay"-
Blendenverzögerung oder "Both" - Beide gesetzt ist. Ein zweiter Sensor muss auch
vorhanden sein um diese Funktion zu benutzen. Wenn Transfer Sensor auf Yes ist,
4 - 14
-Blende, Control-Regelung, Both-Beide.
sofort nach Soak Power 2 und vor DEPOSIT.
Das Quellenblende Relais bleibt in seinem
normalen Zustand und das Sensorblende
Relais ist aktiv. Der Sensor, der so aufgestellt
sein muss dass er den Materialdampf trotz
geschlossener Quellenblende erhält, liefert
Ratenregelung. Ratenregelung muss
innerhalb dem Größeren von +/-5% oder +/-
0.5 Å/s der gewünschten Rate für 5 s
aufgehalten werden bevor das Gerät in den
DEPOSIT Status geht, die Quellenblende
öffnet und so das Substrat einer gut
geregelten Rate des Materialsdampfes
aussetzt. Wenn die gewünschte
Regelgenauigkeit nicht innerhalb von 60 s
erreicht wird, erscheint die "Delay Failure"
-Verzögerungsfehler Alarm Meldung. Falls
"Stop on Alarms" auf "Yes" gesetzt war, geht
der Layer gleichzeitig in STOP.
Status beginnt und Regelverzögerung
unterdrückt die Quellenleistungsregelung für
die in Control Delay Time programmierte
Zeitdauer. Die Ausgänge für Quellen- und
Sensor-blende sind aktiv während der
Control Delay Zeit. Nachdem die
Verzögerungszeit vorbei ist, beginnt die
Regelung.
Blendenverzögerung Status gefolgt von
Regelverzögerung.