INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 66

XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 3-3 Eingänge
Eingang Funktion
Start
Stop
End Deposit
RW Sample Init
Abtasten Initiieren
RW Sample Inhib
Abtasten verhindern
XtalFail InhiBit
Quarzausfall
verhindern
Zero Thick
Dicke Nullen
Soak 2 Hold
Soak 2 Halten
Cruc 1 Valid
(im XTC/3S,auch für
Quelle 2 benutzt)
Cruc 2 Valid
(nur M)
Reset (M, S wenn
Film Select Option in
Gebrauch)
Sel Prozess (4)
Prozess wählen
(nur M)
Sel Prozess (16)
(nur M)
Sel Prozess (64)
(nur M)
Sel Prozess (99)
(nur M)
Switch Crystal
Quarzwechsel
(nur M)
3 - 22
Beschreibung
Ein HIGH-LOW Flankensignal verursacht START wenn ein Layer nicht
schon läuft.
Ein HIGH-LOW Flankensignal verursacht STOP
Ein HIGH-LOW Flankensignal beendet den Deposit Status als ob die
Enddicke erreicht wurde.
Ein HIGH-LOW Flankensignal verursacht eine RateWatcher Abtastung
wenn der Film dafür programmiert ist.
Belegung mit Masse hält die RateWatcher Funktion in seinem
Haltezustand.
Belegung mit Masse verhindert das Schließen des Quarzausfallrelais
und den damit verbundenen Stop.
Ein HIGH-LOW Flankensignal simuliert die ZERO Taste Nullung von
der Frontplatte.
Belegung mit Masse verlängert den SOAK 2 Status bis das
Eingangssignal entfernt wird.
Belegung mit Masse vom Mechanismus zur Tiegelrotation wird benutzt
um zu melden dass der richtige Tiegel für Quelle 1 (oder 2 im XTC/3S)
in Position ist und Statusreihenfolge weitergehen darf.
Belegung mit Masse vom Mechanismus zur Tiegelrotation wird benutzt
um zu melden dass der richtige Tiegel für Quelle 2 in Position ist und
Statusreihenfolge weitergehen darf
Ein HIGH-LOW Flankensignal verursacht RESET wenn in Stop.
Der Status der zwei verbundenen Eingänge bestimmt den Prozess, 1 bis
4, der gewählt wird wenn ein START erfolgt während das Gerät in Ready
oder Idle des letzten Layer ist. 00 für 1, 01 für 2, 10 für 3 und 11 für 4.
Wie oben, nur werden vier Eingänge benutzt um Prozess 1 bis 16 zu
wählen.
Wie oben, nur werden sechs Eingänge benutzt um Prozess 1 bis 64 zu
wählen.
Wie oben, nur werden sieben Eingänge benutzt um Prozess 1 bis 99 zu
wählen.
Ein HIGH-LOW Flankensignal simuliert die XTSW Taste auf der
Frontplatte.