INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 177

Tabelle 6-2 Sensor Fehlersuche und Diagnosis (fortgesetzt)
SYMPTOM
6. Schlechte
Schichtdickenreproduzier-
barkeit.
7. Große Schichtdickendrift
(über 200 Å bei einer Dichte
von 5,00 g/cm3) nach
Beendigung des
Sputtervorgang.
XTC/3 Gebrauchsanleitung
URSACHE
a. Schwankende
Flussverteilung von
der Aufdampfquelle.
b. Seit dem letzten
Aufdampfvorgang ist die
Durchlauffrequenz, deren
Schwankungsbereich oder
die Position, wo der
Elektronenstrahl die
Schmelze trifft, geändert
worden.
c. Material haftet nicht am
Quarz.
d. Zyklische
Aufdampfratenänderung.
a. Erwärmung des Quarzes
wegen schlechten
thermischen Kontakts
b. Ein externes Magnetfeld
beeinflusst das Magnetfeld
des Sensors (Nur
Sputtersensor).
c. Sensormagnet gerissen
oder entmagnetisiert
(Sputtersensor).
BEHEBUNG
a. Den Sensor besser
anordnen, so dass er besser
bedampft wird; relative Höhe
der Schmelze konstanthalten,
um Tunnelungeffekte zu
vermeiden.
b. Konsistente
Aufdampfquellenverteilung
einhalten, indem die
Einstellungen für die
Durchlauffrequenzen, die
Durchlaufamplitude und die
Elektronenstrahlposition
unverändert gelassen werden.
c. Sicherstellen, dass die
Oberfläche des Quarzes
sauber ist. Den Quarz nicht mit
den Fingern anfassen. Eine
eingefügte Adhäsionsschicht
benutzen.
d. Sicherstellen, dass die
Durchlauffrequenz für die
Aufdampfquelle nicht zu
Schwebungen mit der
Messfrequenz des Gerätes
(4 Hz) führt.
a. Die Quarzfläche die am
Quarzhalter aufliegt säubern
oder polieren
b. Den Sensormagneten unter
Berücksichtigung des externen
Magnetfeldes ausrichten.
Siehe hierzu die
Bedienungsanleitung zum
Sensor (CD IPN 074-5000)
c. Stärke des
Sensormagnetfeldes
überprüfen. Die maximale
Feldstärke in der Mitte der
Öffnung sollte 700 Gauß oder
mehr betragen
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