INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 134

XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 5-2 "Standard" Film Parameter (Fortsetzung)
"Stan-
dard"
Befehl
ID
24
(0x18)
25
(0x19)
26
(0x1a)
27
(0x1b)
28
(0x1c)
29
(0x1d)
30
(0x1e)
31
(0x1f)
32
(0x20)
33
(0x21)
34
(0x22)
35
(0x23)
5 - 22
Name Erlaubte Werte /
Bemerkungen
Control Gain
Regler-
verstärkung
Regler
Zeitkonstante
Dead Time
Regler Totzeit
Max Leistung
Density
Dichte
Z-Ratio
Time Power
Zeit-Leistung 0 = No-Nein
Delay option
Verzögerungs-
option
1
Transfer 1=Yes, 0 = No
Sensor
Nicht wenn Film
Übergabe
1
Übergabe
Korr.faktor
1
Regel-
verzögerungs-
zeit
2
Ion Assisted
Deposit
Einheiten / Daten-
typ/
Format
Å/s / % Float
xx.xx
s Float
xxx.x
s Float
xxx.x
% Float
xxx.x
gm/cc Float
x.xx
xx.xx
Float
x.xxx
xx.xx
xxx.x
1=Yes-Ja Int
0 = Keine Int
1 = Blende
2 = Regler
3 = Beide
Int
aktiv ist
% Float
xxx.x
MM:SS Int
(s)
1=Yes, Int
0 = No
Untere Obere
Grenze Grenze
00.01 100.0
0.1 100.0
0.1 100.0
0.0 100.0
0.50 99.99
0.100 9.999
0 1
0 3
0 1
10.0 500.0
0 99:59
(5999)
0 1