INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 210

XTC/3 Gebrauchsanleitung
Für langsame Systeme und um zu vermeiden, dass der Regler in "Wind-up" geht,
(Wind-up ist der schnelle Anstieg im Regelsignal bevor das System auf die
Änderung reagieren kann), wird der Zeitraum zwischen zwei Änderungen der
Stellgröße (Steuerspannung) verlängert.
Dies ermöglicht es dem System, auf die vorangegangene Änderung der
Reglereinstellung zu reagieren. Dadurch können aggressive Reglereinstellungen
verwendet werden. Ein zweiter Vorteil ist der, dass die Immunität gegenüber
Rauschen vom Prozess verbessert wird, da die zur Regelung benutzten Daten nun
auf mehreren Messungen anstelle einer einzelnen Ratenmessung beruhen.
Dadurch werden die massenintegrierenden Eigenschaften des Quarzes genutzt.
Im Falle von Prozessen, die schnell reagieren (kleine Zeitkonstanten) und bei
kleiner oder nicht messbaren Totzeit, hat ein PID Regler häufig Schwierigkeiten mit
dem Rauschen vom Aufdampfprozess (Strahldurchlauf, schnelle thermische
Kurzschlüsse zwischen Schmelze und Tiegel etc.). Unter diesen Umständen lässt
sich eine Regelungsart, bei der erst integriert und dann ein Rücksetzen erfolgt,
erfolgreich einsetzen. Diese Art der Regelung wird die Abweichung immer
integrieren und das System immer in die Richtung für die Abweichung Null treiben.
Diese Methode funktioniert gut, wenn eine Totzeit entweder nicht vorhanden ist
oder wenn diese sehr klein ist. Wird diese Methode bei einem Prozess mit einer
messbaren Verzögerung oder Totzeit angewendet, dann wird die
Regelungsschleife zu Schwingungen neigen. Dies liegt daran, dass die
Regelungsschleife das Stellsignal überkompensiert, bevor das System
Gelegenheit hatte, zu reagieren.
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