INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 150

XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 5-7 "XTC2" Parameter Satz
"XTC2"
PP
24
25
26
27
28
29
30-39
40
99
1) Kann 0 sein für Q Befehl; wenn 0, gibt Werte für Schichten 1 - 3.
Im XTC3/S gibt es nur eine Schicht. Q 40 2 oder Q 40 3 geben einen Fehler.
Q 40 0 gibt "1 0 0" zurück
Im XTC/3M, wenn kein Film in der Schicht bestimmt ist, geben Q 40 2 oder
Q 40 3 einen NO DATA Fehler zurück.
2) Trifft nur für U 40 Befehl zu. 0 ist nicht erlaubt für Schicht 1.
Tabelle 5-8 Q40 Befehl Antworten
Befehl
Q40 0
Q40 1
Q40 2
Q40 3
5 - 38
XTC/3
Control Gain
Regelverstärkung
Control TC
Regler Zeitkonstante
Control DT
Regler Totzeit
Max Power
Max. Leistung
Sample - Abtasten
Hold Time
Haltzeit
Nicht verwendet
Layer - Schicht
Alle
XTC/3S Antwort
"a 0 0 " (a = 1 bis 9,
0 = Kein Film in Schicht)
"a" (a = 1 bis 9)
"No Data"
"Keine Daten" Fehler
"No Data"
"Keine Daten" Fehler
Parameter Bereich
0.01- 100.0
0.1 - 100
0.1 - 100
0.0 - 100.0
0 - 99
0 - 5999 oder 00:00 - 99:59
1-3 1 0-9 2
XTC/3M Antwort
"a b c" (a = 1 bis 32, b = 0 bis
32, c = 0 bis 32)
"a" (a = 1 bis 32)
"b" wenn b = 1 bis 32
"No Data- Keine Daten"
Fehler wenn b = 0
"c" wenn c = 1 bis 32
"No Data- Keine Daten"
Fehler wenn c= 0