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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Abbildung 4-7 Time Constant Zeitkonstante
R
R
A
A
T
T
E
E
RATE INCREASE
RATE INCREASE
DEAD TIME . . . . . . . . . . Totzeit...............................0.1 bis 100.0 s
Dieser Wert ist definiert als die Zeitdifferenz zwischen einer Änderung der
prozentualen Leistungsabgabe und der tatsächlichen Änderung der Aufdampfrate.
Der Standardwert ist 1,0.
Abbildung 4-8 Dead Time Totzeit
R
R
A
A
T
T
E
E
INCREASE POWER
INCREASE POWER
Leistung erhöht
MAXIMUM POWER . . . . Maximum Leistung...................0.0 bis 100.0%
Bestimmt die maximale % Leistung. Die Regelspannung wird diese Grenze nicht
überschreiten. Der Standardwert ist 100.0%.
DENSITY . . . . . . . . . . . . Dichte ..................................0.50 bis 99.99 gm/cc
Dieses ist ein materialspezifischer Parameter für das Material, welches auf den
Quarz aufgedampft wird. Dies ist einer von zwei Parametern, die sich auf die
Massenbeladung des Quarzes hinsichtlich der Schichtdicke beziehen. Der
Standardwert ist 1.00 gm/cc.
4 - 12
TIME CONSTANT
TIME CONSTANT
Rate
Power
TIME
TIME
Control DT
Control DT
63% POINT
63% POINT
Rate
Power
RATE INCREASE
RATE INCREASE
TIME
TIME
P
P
O
O
W
W
E
E
R
R
Ratenanstieg
P
P
O
O
W
W
E
E
R
R
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