INFICON XTC/3 Gebrauchsanleitung Seite 221

A
Akustische Rückmeldung
ALARMS 3-23
Anstiegszeit 4-4
Antwort Paket 5-7
AT-Schnitt 8-2
AUDIO FEEDBACK 4-22
Aufdampfen/Abätzen 4-20
Auflösung für Schichtdicke
Autostart 3-25
AUTOSTART NEXT LAYER
Auto-Zero 3-7
Aux I/O Connector 2-12
B
BAUD RATE 4-24
BCD mode 3-27
Befehl Paket 5-6
Belichtungabschaltzeit 4-23
Benutzerschnittstelle 1-6
Bin mode 3-27
Blendenverzögerung 4-14
C
Checksum 5-7
Clear
lock code 3-34
user-programmed parameters
co-deposition 2-5
Communications
network protocol 5-3
Control
Delay 3-26
Loop Theory 8-10
CONTROL DELAY TIME
CONTROL GAIN 4-11
COUNTS 4-10
Crucible 4-11
Crucible Switching 3-27
Crucible Valid 2-12
crystal replacement 6-20
standard and compact
Crystal Sensor Emulator
,
Crystal12 3-30 3-32
, ,
CrystalSix 3-29 3-32 6-25
,
CrystalTwo 3-28 3-32
XTC/3 Gebrauchsanleitung
D
4-22 Data Log
DEAD TIME
Declaration Of Contamination
DELAY OPTION
DENSITY
density
1-6 DEP/ETCH MODE
Deposition Rate
4-20 DHCP
Diagnostics
Dichte
Dickenscherungsmodus
Dickensollwert
Dual Head
E
Earth Ground
Einbausatz
Enddicke
Error Code
Ethernet Schnittstelle
F
Fehler Code
Fehlermeldungen
3-34 Fehlersuche
Film Aufstellung
Film Definition
FILM NUMBER
film parameters
Film Select (nur XTC/3S)
Film Select Option
4-15 FILM TO RUN
Film(e) Definieren
FILTER
FINAL THICKNESS
Firmware
Frequenzgenauigkeit
6-21
G
6-26
General Parameter Konfigurieren
H
hardware handshaking
3-34
4-12
4-14
4-12
determination 7-1
4-20
4-6
3-35
,
3-11 6-6
4-12
8-2
4-6
3-31
1-3
1-12
4-6
5-8
4-25
5-8
6-1
6-1
4-2
4-3
4-6
3-8
4-23
2-11
4-19
4-1
4-22
4-6
6-6
1-6
5-1
Index
1-5
4-1
Index - 1