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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Alle Multi-Position und Sensor mit Blenden benötigen das Pneumatic Actuator
Control Valve, Teilnummer 750-420-G1 und eine Durchführung mit einer
Luftleitung.
Ein Quarz- (bzw. Sensor- im Fall eines Doppelsensor) wechsel wird automatisch
vollzogen wenn:
Das Gerät ist für einen CrystalTwo oder Doppelsensor konfiguriert, eine
Schicht ist gestartet oder in Bearbeitung und ein guter Quarz ist in Reserve
wenn der aktive Quarz ausfällt.
Das Gerät ist für einen CrystalSix oder Crystal12, konfiguriert, eine Schicht ist
gestartet oder in Bearbeitung und mindestens ein guter Quarz ist im Karussell
wenn der aktive Quarz ausfällt.
Das Gerät ist für einen Rotary Sensor konfiguriert, eine Schicht ist gestartet
oder in Bearbeitung und mindestens eine gute Position ist im Rotary Sensor
wenn der aktive Quarz ausfällt.
Wenn ein Quarzwechsel während der Deposit Phase vollzogen wird, dann wird die
Schichtdicke mit dem Ratensollwert weiter akkumuliert. Leistung wird konstant
gehalten mit der durchschnittlichen Leistung über die vorhergehenden 6.25 s mit
Ausschluss der letzten 2 s.
Ein Quarzwechsel wird NICHT automatisch durchgeführt:
Während einem Status von STOP, READY, oder IDLE.
Während des Aufdampfvorganges - falls der sekundäre Quarz eines
Doppelsensors ausfällt -oder wenn der letzte brauchbare Quarz eines Rotary,
CrystalSix, oder Crystal12 Sensor ausfällt. (In beiden Fällen geht das Gerät je
nachdem ob die TIME-POWER Option Yes oder No gewählt war in Time-Power
oder in STOP. )
Eine Umschaltung des Quarzes kann auch manuell durch die XTSW Taste auf der
Frontplatte, die Fernbedienung oder über die Kommunikationsschnittstelle
veranlasst werden, wenn das System zum Betrieb eines CrystalTwo, CrystalSix,
Crystal12, Rotary oder Dual Head-Doppel Sensor konfiguriert wurde.
HINWEIS: Die Crystal Fail-Quarzfehler Meldung erscheint wenn keine
3.6.8.1 CrystalTwo
Im Fall eines CrystalTwo (750-212-G2 Doppel Sensor mit 779-220-G1 oder
779-220-G2 XTAL 2 Switch), muss der CrystalSwitch-Quarzwechsel Ausgang so
verdrahtet werden dass er gleichzeitig 1) das Pneumatic Shutter Actuator Control
Valve- Blendenkontrollventil speist, welches den Luftdruck liefert um die Doppel-
Sensorblende zu aktivieren, und 2) das HF Relais im XTAL 2 Switch speist, so dass
Quarz #2 aufgedeckt wird während Quarz #1 bedeckt wird und das HF Signal
dementsprechend umgeleitet wird. Dadurch kann der Doppelsensor mit nur einem
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brauchbaren Quarze übrig sind.
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Fehlerbehebung
