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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Tabelle 3-1 Status Beschreibungen (Fortsetzung)
STATUS
SHUTTER DEL(AY)
Blendenverzögerung
HINWEIS: Die folgenden sind Beschichtung/Deposit Statusse.
CONTROL DELAY
Regelungsverzögerung
(Deposit Status)
DEPOSIT
RATEWATCHER
(SAMPLE)/Abtasten
(Deposit Status)
RATEWATCHER
(HOLD)/Halten
(Deposit Status)
RATE RAMP
Ratenrampe
MANUAL
TIME-POWER
ZEIT-LEISTUNG
3 - 18
ZUSTAND
Die Aufdampfrate wird geregelt. Wenn
TRANSFER SENSOR auf Yes gesetzt
wurde, ist der zweite Sensor in Betrieb.
Geht weiter zum Aufdampfzustand
Deposit nachdem die Aufdampfquelle
innerhalb einer Abweichung der
Aufdampfratenregelung von 5% oder 0.5Å
für 5s liegt. [Delay Option, Shutter Delay
ON]
Leistung konstant bei Soak Leistung 2.
Ratenregelung beginnt wenn die
Verzögerungszeit vorbei ist. [Delay Option,
Control Delay, Control Delay Time]
Dicke genullt auf Eingang in Depositphase
oder zurückgesetzt zu gespeichertem
Wert bei Stop/Start ohne Reset.
Ratenregelung. [Rate, Final Thickness,
PID Control, Prozess Gain, Primary Time
Constant, System Dead Time]
Ratenregelung. [RateWatch Accuracy]
Leistung konstant, basiert auf
durchschnittliche Leistung während der
letzten Abtastung. [RateWatch Hold Time]
Ratenregelung, gewünschte Rate ändert
sich. [New Rate, Start Ramp, Ramp Time]
Die Leistungsabgabe an die
Aufdampfquelle wird über die
Fernbedienungseinheit gesteuert oder
über die Auf-, Abwärts Pfeiltasten auf der
Frontplatte.
Quarzausfall, Quelle wird auf
durchschnittliche Regelleistung bevor
Quarzausfall gehalten; [Time Power
Yes/No]
RELAIS KONTAKT
STATUS
Quellen
Sensor-
blende
blende
Inaktiv
Aktiv
Aktiv
Aktiv
Aktiv
Aktiv
Aktiv
Aktiv
Aktiv
Inaktiv
Aktiv
Aktiv
Aktiv
Aktiv
Aktiv
Aktiv
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